Изучение химического состава плазмы в процессах получения тонких пленок и покрытий с применением спектрометра "Колибри-2"

Изучение химического состава плазмы в процессах получения тонких пленок и покрытий с применением спектрометра "Колибри-2" Научная публикация

Журнал

Заводская лаборатория. Диагностика материалов
ISSN: 1028-6861 , E-ISSN: 2588-0187

Вых. Данные

Год: 2012, Том: 78, Номер: 1, Страницы: 96-98 Страниц : 3

Авторы

Шаяпов Владимир Равильевич ¹ , Рогов А.Б. ¹ , Румянцев Юрий Михайлович ¹ , Аюпов Борис Мингареевич ¹ , Лабусов В.А. ² , Зарубин И.А. ²

Организации

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН
2	Институт автоматики и электрометрии СО РАН

Рассмотрено применение спектрометра «Колибри-2» для изучения химического состава плазмы на примерах плазмохимического разложения гексаметилдисилазана и микроплазменного синтеза оксидного покрытия на сплаве алюминия в силикатно-щелочном электролите. Показано, что в таких исследованиях необходимы возможности, которые дает спектрометр – компактность, высокая чувствительность, быстродействие, регистрация спектров автоматически с заданным временным разрешением.

Шаяпов В.Р. , Рогов А.Б. , Румянцев Ю.М. , Аюпов Б.М. , Лабусов В.А. , Зарубин И.А.
Изучение химического состава плазмы в процессах получения тонких пленок и покрытий с применением спектрометра "Колибри-2"
Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2012. Т.78. №1. С.96-98. РИНЦ

Поступила в редакцию:

17 окт. 2011 г.

РИНЦ:

17281602

Пока нет цитирований