Изучение химического состава плазмы в процессах получения тонких пленок и покрытий с применением спектрометра "Колибри-2"

Изучение химического состава плазмы в процессах получения тонких пленок и покрытий с применением спектрометра "Колибри-2" Full article

Journal

Заводская лаборатория. Диагностика материалов
ISSN: 1028-6861 , E-ISSN: 2588-0187

Output data

Year: 2012, Volume: 78, Number: 1, Pages: 96-98 Pages count : 3

Authors

Shayapov Vladimir Ravilʹevich ¹ , Рогов А.Б. ¹ , Ru Yu. M. ¹ , Ayupov Boris M. ¹ , Лабусов В.А. ² , Зарубин И.А. ²

Affiliations

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН
2	Институт автоматики и электрометрии СО РАН

Рассмотрено применение спектрометра «Колибри-2» для изучения химического состава плазмы на примерах плазмохимического разложения гексаметилдисилазана и микроплазменного синтеза оксидного покрытия на сплаве алюминия в силикатно-щелочном электролите. Показано, что в таких исследованиях необходимы возможности, которые дает спектрометр – компактность, высокая чувствительность, быстродействие, регистрация спектров автоматически с заданным временным разрешением.

Шаяпов В.Р. , Рогов А.Б. , Румянцев Ю.М. , Аюпов Б.М. , Лабусов В.А. , Зарубин И.А.
Изучение химического состава плазмы в процессах получения тонких пленок и покрытий с применением спектрометра "Колибри-2"
Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2012. Т.78. №1. С.96-98. РИНЦ

Submitted:

Oct 17, 2011

Elibrary:

17281602

Пока нет цитирований