Sciact
Toggle navigation
  • EN
  • RU

Разделы:

  • Статьи
  • Книги
  • Доклады на конференциях
  • Тезисы докладов
  • Патенты

Статьи (88)

# Публикация
1 Wu L. , Belaya S.V. , Li L. , Maksimovskiy E.A. , Kolodin A.N. , Asanov I.P. , Plekhanov A.G. , Korolkov I.V. , Zhang H. , Kosinova M.L. , An B.
Interfacial Engineering of Boron Carbonitride via Tuning Layers for Enhanced Solar Water Oxidation
Carbon. 2026. V.246. 120926 :1-10. DOI: 10.1016/j.carbon.2025.120926 WOS Scopus OpenAlex
2 Ermakova E. , Plehanov A. , Saraev A. , Gerasimov E. , Shayapov V. , Maksimovskiy E. , Sulyaeva V. , Kolodin A. , Kosinova M.
Amorphous SiCxNy:H thin films produced with various nitrogen sources: A comparative study
Vacuum. 2026. V.247. 115106 :1-14. DOI: 10.1016/j.vacuum.2026.115106 WOS Scopus
3 Ermakova E. , Shayapov V. , Saraev A. , Maximovsky E. , Kirienko V. , Sulyaeva V. , Gerasimov E. , Kosinova M.
Trisylilamine derivative for plasma-assisted fabrication of SiCN:H copper diffusion barrier with reduced value of permittivity
Thin Solid Films. 2026. V.836. 140871 :1-12. DOI: 10.1016/j.tsf.2026.140871 WOS
4 Shestakov V.A. , Kosinova M.L.
Thermodynamic Modeling of Phase-Formation Conditions in the Si–O–C–H–He and Si–O–C–H–N–He Systems
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2025. V.70. N4. P.567-572. DOI: 10.1134/s003602362560039x WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
5 Tu R. , Liang X. , Xu Q. , Ji B. , Li Q. , Zhang C. , Kosinova M.L. , Zhang S. , Goto T.
Computational fluid dynamics simulation of dual-showerhead configuration: Key to uniform large-scale chemical vapor deposition SiC coatings
Journal of Vacuum Science & Technology A. 2025. V.43. N6. 063410 . DOI: 10.1116/6.0004837 WOS Scopus OpenAlex
6 Ермакова Е.Н. , Плеханов А.Г. , Шаяпов В.Р. , Суляева В.С. , Максимовский Е.А. , Петухова Д.Е. , Сараев А.А. , Герасимов Е.Ю. , Кириенко В.В. , Хомяков М.Н. , Косинова М.Л.
АМОРФНЫЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕCКИЕ ПЛЕНКИ SiCNH, ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДОМ PECVD ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАНА
Журнал структурной химии. 2025. Т.66. №11. 155150 . DOI: 10.26902/JSC_id155150
7 Kapoguzov K.E. , Mutilin S.V. , Belaya S.V. , Kichay V.N. , Yakovkina L.V. , Korolkov I.V. , Saraev A.A. , Kosinova M.L.
Stable resistive switching in VO2 films synthesized on mazy-like h-BCN nanowalls/Si(1 0 0) substrates
Materials Science And Engineering: B. 2025. V.321. 118511 :1-9. DOI: 10.1016/j.mseb.2025.118511 WOS Scopus OpenAlex
8 Шестаков В.А. , Косинова М.Л.
ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ УСЛОВИЙ ФАЗООБРАЗОВАНИЯ В СИСТЕМАХ SI-О-C-H-HЕ И SI-О-C-H-N-HЕ
Журнал неорганической химии. 2025. Т.70. №4. С.560-565. DOI: 10.31857/S0044457X25040092 РИНЦ
9 Суляева В.С. , Шибата К. , Сато Ф. , Тераучи M. , Васильева И.Г. , Косинова М.Л.
Наноструктурное и химическое устройство тонких градиентных пленок BCN
Журнал структурной химии. 2025. Т.66. №10. 152931 :1-12. DOI: 10.26902/jsc_id152931 OpenAlex
10 Sulyaeva V.S. , Shibata K. , Sato F. , Terauchi M. , Vasilyeva I.G. , Kosinova M.L.
Nanostructural and Chemical Arrangement of BCN Gradient Thin Films
Journal of Structural Chemistry. 2025. V.66. N10. P.2009-2020. DOI: 10.1134/s0022476625100014 WOS Scopus OpenAlex
11 Ermakova E.N. , Plekhanov A.G. , Shayapov V.R. , Sulyaeva V.S. , Maksimovsky E.A. , Petukhova D.E. , Saraev A.A. , Gerasimov E.Y. , Kirienko V.V. , Khomyakov M.N. , Kosinova M.L.
Amorphous Dielectric SiCNH Films Prepared by PECVD Method from Hexamethyldisilazane Vapors
Journal of Structural Chemistry. 2025. V.66. N11. P.2292-2308. DOI: 10.1134/s0022476625110046 WOS Scopus OpenAlex
12 Shestakov V.A. , Kosinova M.L.
Thermodynamic Modeling of the Deposition of Nickel-Containing Films from the Gas Phase
Russian Journal of Physical Chemistry A. 2024. V.98. N9. P.2007-2011. DOI: 10.1134/S0036024424701140 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
13 Ермакова Е.Н. , Максимовский Е.А. , Федоренко А.Д. , Шаповалова А.А. , Хижняк Е.А. , Косинова М.Л.
Синтез и исследование пленок SiBCN, полученных в процессе плазмохимического осаждения из триэтиламинборана, гексаметидисилазана и аммиака
Журнал структурной химии. 2024. Т.65. №8. 130382 . DOI: 10.26902/jsc_id130382 РИНЦ OpenAlex
14 Шестаков В.А. , Косинова М.Л.
ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА CVD В СИСТЕМЕ Ni–Si–C–H
Журнал неорганической химии. 2024. Т.69. №1. С.43-48. DOI: 10.31857/S0044457X24010059 РИНЦ OpenAlex
15 Shestakov V.A. , Kosinova M.L.
THERMODYNAMIC MODELING OF THE CVD PROCESS IN THE NI–SI–C–H SYSTEM
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2024. V.69. P.37-41. DOI: 10.1134/s0036023623602441 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
16 Valoor R. , Sulyaeva V. , Lakshmiramanan K. , Gatapova E. , Ratnayake P. , Kozhevnikov A. , Kolodin A.N. , Fedorenko A. , Kosinova M. , Pandya H.J. , Basu B.
Hemocompatibility and Preangiogenic Attributes of SiBxCyNzOm Coatings for Biomedical Applications
ACS Applied Materials & Interfaces. 2024. V.16. N19. P.24321-24340. DOI: 10.1021/acsami.4c02416 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
17 Чагин М.Н. , Ермакова Е.Н. , Шаяпов В.Р. , Суляева В.С. , Юшина И.В. , Максимовский Е.А. , Дудкина С.П. , Сараев А.А. , Герасимов Е.Ю. , Могильников К.П. , Колодин А.Н. , Косинова М.Л.
АМОРФНЫЕ ПЛЕНКИ SiCx:H и SiCxNy:H, ПОЛУЧЕННЫЕ ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАНА
Журнал структурной химии. 2024. Т.65. №10. 134149 . DOI: 10.26902/jsc_id134149 РИНЦ OpenAlex
18 Chagin M.N. , Ermakova E.N. , Shayapov V.R. , Sulyaeva V.S. , Maksimovskii E.A. , Yushina I.V. , Kosinova M.L.
Amorphous SiCx:H and SiCxNy:H Films Obtained from Hexamethyldisilane Vapor in Inductively Coupled RF Discharge Plasma
High Energy Chemistry. 2024. V.58. N6. P.693-698. DOI: 10.1134/S0018143924700565 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
19 Ermakova E. , Tsyrendorzhieva I. , Mareev A. , Pavlov D. , Maslova O. , Shayapov V. , Maksimovskiy E. , Yushina I. , Kosinova M.
Carbon-Rich Plasma-Deposited Silicon Oxycarbonitride Films Derived from 4-(Trimethylsilyl)morpholine as a Novel Single-Source Precursor
ChemPlusChem. 2024. V.89. e202400094 :1-13. DOI: 10.1002/cplu.202400094 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
20 Ermakova E. , Shayapov V. , Saraev A. , Maximovsky E. , Kirienko V. , Khomyakov M. , Sulyaeva V. , Kolodin A. , Gerasimov E. , Kosinova M.
Effect of plasma power on growth process, chemical structure, and properties of PECVD films produced from hexamethyldisilane and ammonia
Surface & Coatings Technology. 2024. V.490. 131131 :1-12. DOI: 10.1016/j.surfcoat.2024.131131 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

  • « Назад
  • 1
  • 2
  • 3
  • 4
  • 5
  • Вперед  »
1   /  5   -  Всего 88 записей

Фильтр

Сортировка

Поле Направление

Столбцы

Сбросить