|
61
|
Lozanov V.V.
, Baklanova N.I.
, Shayapov V.R.
, Berezin A.A.S.
Crystal Growth and Photoluminescence Properties of Reactive CVD-Derived Monoclinic Hafnium Dioxide
Crystal Growth & Design. 2016.
V.16. P.5283-5293. DOI: 10.1021/acs.cgd.6b00824
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
62
|
Шаяпов В.Р.
, Аюпов Б.М.
Исследование клиновидных плёнок оптическими методами. Часть I. Моделирование
Оптический журнал. 2016.
Т.83. №7. С.68-75.
|
|
63
|
Shayapov V.R.
, Ayupov B.M.
Optical study of wedge-shaped films. Part I. Modeling
Journal of Optical Technology. 2016.
V.83. N7. P.441-446. DOI: 10.1364/JOT.83.000441
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
64
|
Шаяпов В.Р.
, Лебедев М.С.
Исследование клиновидных плёнок оптическими методами. Часть II. Эксперименты
Оптический журнал. 2016.
Т.83. №7. С.76-82.
|
|
65
|
Shayapov V.R.
, Lebedev M.S.
Optical study of wedge-shaped films. Part II. Experiments
Journal of Optical Technology. 2016.
V.83. N7. P.447-451. DOI: 10.1364/JOT.83.000447
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
66
|
Шаяпов В.Р.
, Чагин М.Н.
, Румянцев Ю.М.
Химический состав индуктивно-связанной плазмы смеси гексаметилдисилазана с аргоном и свойства пленок, образующихся в такой плазме
Неорганические материалы. 2016.
Т.52. №6. С.684-690. DOI: 10.7868/S0002337X16050158
РИНЦ
OpenAlex
|
|
67
|
Shayapov V.R.
, Chagin M.N.
, Rumyantsev Y.M.
Chemical Composition of an Inductively Coupled Hexamethyldisilazane–Argon Plasma and Properties of Films Grown in this Plasma
Inorganic Materials. 2016.
V.52. N6. P.630-636. DOI: 10.1134/S0020168516050150
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
68
|
Шаяпов В.Р.
, Румянцев Ю.М.
, Плюснин П.Е.
Химический состав плазмы и свойства пленок, полученных плазмохимическим осаждением из паров гексаметилдисилазана
Химия высоких энергий. 2016.
Т.50. №3. С.221-226. DOI: 10.7868/S002311931603013X
РИНЦ
OpenAlex
|
|
69
|
Шаяпов В.Р.
, Надолинный В.А.
, Кожемяченко С.И.
, Румянцев Ю.М.
, Файнер Н.И.
Структурные дефекты в пленках SiCxNyHz, полученных плазмохимическим осаждением из паров гексаметилдисилазана
Журнал структурной химии. 2015.
Т.56. №6. С.1123-1128. DOI: 10.15372/JSC20150607
РИНЦ
OpenAlex
|
|
70
|
Shayapov V.R.
, Nadolinnyi V.A.
, Kozhemyachenko S.I.
, Rumyantsev Y.M.R.
, Fainer N.I.
Structural defects in SiCxNyHz films obtained by plasma-enhanced chemical deposition from hexamethyldisilazane vapor
Journal of Structural Chemistry. 2015.
V.56. N6. P.1070-1075. DOI: 10.1134/S0022476615060074
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
71
|
Fainer N.I.
, Plekhanov A.G.
, Golubenko A.N.
, Rumyantsev Y.M.
, Rakhlin V.I.
, Maximovski E.A.
, Shayapov V.R.
PECVD Synthesis of Silicon Carbonitride Layers Using Methyltris(diethylamino)silane as the New Single-Source Precursor
ECS Journal of Solid State Science and Technology. 2015.
Т.4. №1. С.N3153-N3163. DOI: 10.1149/2.0201501jss
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
72
|
Shayapov V.R.
, Khomyakov M.N.
, Rumyantsev Y.M.
Scanning probe microscopy and nanoindentation studies of silicon carbonitride films obtained by PECVD from hexamethyldisilazane
Письма о материалах. 2014.
V.4. N2. P.114-116.
РИНЦ
|
|
73
|
Файнер Н.И.
, Плеханов А.Г.
, Румянцев Ю.М.
, Максимовский Е.А.
, Шаяпов В.Р.
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть I. Химический и фазовый состав
Физика и химия стекла. 2014.
Т.40. №5. С.749-758.
РИНЦ
|
|
74
|
Файнер Н.И.
, Плеханов А.Г.
, Румянцев Ю.М.
, Юшина И.В.
, Шаяпов В.Р.
, Кичай В.Н.
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть II. Физико-химические и функциональные свойства
Физика и химия стекла. 2014.
Т.40. №6. С.837-845.
РИНЦ
|
|
75
|
Fainer N.I.
, Plekhanov A.G.
, Rumyantsev Y.M.
, Maximovskii E.A.
, Shayapov V.R.
Films of Hydrogenated Silicon Oxycarbonitride. Part I. Chemical and Phase Composition
Glass Physics and Chemistry. 2014.
V.40. N5. P.570-577. DOI: 10.1134/S1087659614050034
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
76
|
Fainer N.I.
, Plekhanov A.G.
, Rumyantsev Y.M.
, Yushina I.V.
, Shayapov V.R.
, Kichai V.N.
Hydrogenated silicon oxycarbonitride films. Part II. Physicochemical and functional properties
Glass Physics and Chemistry. 2014.
V.40. N6. P.643-649. DOI: 10.1134/S1087659614060042
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
77
|
Shayapov V.R.
, Rumyantsev Y.M.
, Dzyuba A.A.
, Ayupov B.M.
, Fainer N.I.
Mechanical stresses in silicon carbonitride films obtained by PECVD from hexamethyldisilazane
Applied Surface Science. 2013.
V.265. P.385-388. DOI: 10.1016/j.apsusc.2012.11.017
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
78
|
Шаяпов В.Р.
, Рогов А.Б.
, Румянцев Ю.М.
, Аюпов Б.М.
, Лабусов В.А.
, Зарубин И.А.
Изучение химического состава плазмы в процессах получения тонких пленок и покрытий с применением спектрометра "Колибри-2"
Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2012.
Т.78. №1. С.96-98.
РИНЦ
|
|
79
|
Аюпов Б.М.
, Шаяпов В.Р.
Использование спектрометра "Колибри-2" для исследования твердых тел
Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2012.
Т.78. №1-2. С.101-104.
РИНЦ
|
|
80
|
Shayapov V.R.
Application of Surface Acoustic Wave Spectroscopy for Study of Physical Properties of Thin Films
In compilation
XIII INTERNATIONAL CONFERENCE AND SEMINAR ON MICRO/NANOTECHNOLOGIES AND ELECTRON DEVICES EDM 2012.
– IEEE.,
2012.
– C.99-102. – ISBN 978-1-4673-2520-2. DOI: 10.1109/EDM.2012.6310197
OpenAlex
|