Abstract: Методом химического осаждения при пониженном давлении из паров ацетилацетоната ванадила на подложках монокристаллического кремния Si(100) получены однофазные пленки диоксида ванадия, содержащие моноклинную фазу M1. Методом рентгеновской дифракции проведено исследование изменения фазового состава пленок при нагревании до 90 °C. Установлено, что в области температур 60—70 °C моноклинная фаза переходит в тетрагональную R. При более высоких температурах наблюдается только тетрагональная фаза. Методами спектрофотометрии отражения и эллипсометрии определены температурные зависимости проявляющих гистерезис оптических свойств пленок. Спектры отражения в области длин волн менее 600 нм почти нечувствительны к изменениям температуры. Коэффициенты отражения и экстинкции после линейной нормировки хорошо согласуются с изменениями фазового состава.

Cite: Шаяпов В.Р. , Яковкина Л.В. , Булина Н.В. , Черникова Н.А.
Температурные зависимости оптических свойств и фазового состава пленок диоксида ванадия, полученных химическим осаждением из газовой фазы
Журнал структурной химии. 2017. Т.58. №8. С.1566-1572. DOI: 10.26902/JSC20170806 OpenAlex

Translated: Shayapov V.R. , Yakovkina L.V. , Bulina N.V. , Chernikova N.A.
TEMPERATURE DEPENDENCES OF THE OPTICAL PROPERTIES AND THE PHASE COMPOSITIONOF VANADIUM DIOXIDE FILMS OBTAINED BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
Journal of Structural Chemistry. 2017. V.58. N8. P.1515-1521. DOI: 10.1134/S0022476617080066 Scopus OpenAlex

Identifiers:

OpenAlex:

W4249469246

Citing: Пока нет цитирований

Altmetrics: