Химический состав индуктивно-связанной плазмы смеси гексаметилдисилазана с аргоном и свойства пленок, образующихся в такой плазме

Химический состав индуктивно-связанной плазмы смеси гексаметилдисилазана с аргоном и свойства пленок, образующихся в такой плазме Full article

Journal

Неорганические материалы
ISSN: 0002-337X

Output data

Year: 2016, Volume: 52, Number: 6, Pages: 684-690 Pages count : 7 DOI: 10.7868/S0002337X16050158

Tags

плазмохимическое осаждение, тонкие пленки, оптическая эмиссионная спектроскопия

Authors

Shayapov Vladimir Ravilʹevich ¹ , Chagin Maksim Nikolaevich ¹ , Ru Yu. M. ¹

Affiliations

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Методом оптической эмиссионной спектроскопии определены простейшие компоненты (атомы, двухатомные молекулы, простые свободные радикалы) индуктивно-связанной плазмы высокочастотного разряда в смеси гексаметилдисилазана и аргона. Изучены изменения интенсивности линий и полос, соответствующих этим компонентам, от условий процесса: мощности разряда, концентрации гексаметилдисилазана в смеси. Исследованы соответствующие изменения состава и физико-химических свойств пленок SiCxNyHz, осаждаемых в такой плазме.

Шаяпов В.Р. , Чагин М.Н. , Румянцев Ю.М.
Химический состав индуктивно-связанной плазмы смеси гексаметилдисилазана с аргоном и свойства пленок, образующихся в такой плазме
Неорганические материалы. 2016. Т.52. №6. С.684-690. DOI: 10.7868/S0002337X16050158 РИНЦ OpenAlex

Shayapov V.R. , Chagin M.N. , Rumyantsev Y.M.
Chemical Composition of an Inductively Coupled Hexamethyldisilazane–Argon Plasma and Properties of Films Grown in this Plasma
Inorganic Materials. 2016. V.52. N6. P.630-636. DOI: 10.1134/S0020168516050150 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Submitted:

Sep 14, 2015

Elibrary:	25946577
OpenAlex:	W2401669014

DB	Citing
Elibrary	1