41
|
Sulyaeva V.S.
, Rumyantsev Y.M.
, Kesler V.G.
, Kosinova M.L.
Synthesis and optical properties of BCxNy films deposited from N-triethylborazine and hydrogen mixture
Thin Solid Films. 2015.
V.581. P.59-64. DOI: 10.1016/j.tsf.2014.12.002
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
42
|
Ermakova E.
, Mogilnikov K.
, Rumyantsev Y.
, Kichay V.
, Maximovskii E.
, Semenova O.
, Kosinova M.
Study of Cu diffusion behavior in carbon rich SiCN:H films deposited from trimethylphenylsilane
Thin Solid Films. 2015.
V.588. P.39-43. DOI: 10.1016/j.tsf.2015.04.058
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
43
|
Ermakova E.N.
, Sysoev S.V.
, Nikulina L.D.
, Tsyrendorzhieva I.P.
, Rakhlin V.I.
, Kosinova M.L.
Synthesis and characterization of organosilicon compounds as novel precursors for CVD processes
Thermochimica Acta. 2015.
V.622. P.2-8. DOI: 10.1016/j.tca.2015.02.004
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
44
|
Ermakova E.
, Rumyantsev Y.
, Shugarov A.
, Panin A.
, Kosinova M.
PECVD synthesis, optical and mechanical properties of silicon carbon nitride films
Applied Surface Science. 2015.
V.339. P.102-108. DOI: 10.1016/j.apsusc.2015.02.155
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
45
|
Sulyaeva V.S.
, Kosinova M.L.
, Rumyantsev Y.M.
, Kuznetsov F.A.
, Kesler V.G.
, Kirienko V.V.
Optical and electrical characteristics of plasma enhanced chemical vapor deposition boron carbonitride thin films derived from N-trimethylborazine precursor
Thin Solid Films. 2014.
V.558. P.112-117. DOI: 10.1016/j.tsf.2014.02.082
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
46
|
Суляева В.С.
, Максимовский Е.А.
, Косинова М.Л.
, Румянцев Ю.М.
Особенности анализа элементного состава пленок карбонитрида бора методом ЭДС
Физикохимия поверхности и защита материалов. 2014.
Т.50. №2. С.219-224. DOI: 10.7868/s004418561402017x
РИНЦ
OpenAlex
|
47
|
Sulyaeva V.S.
, Maksimovskii E.A.
, Kosinova M.L.
, Rumyantsev Y.M.
Analysis Features of Elemental Composition of Boron Carbonitride Films by EDS
Protection of Metals and Physical Chemistry of Surfaces. 2014.
V.50. N2. P.273–277. DOI: 10.1134/S2070205114020178
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
48
|
Ермакова Е.Н.
, Кеслер В.Г.
, Румянцев Ю.М.
, Косинова М.Л.
Исследование типов химических связей в пленках, полученных плазмохимическим разложением паров бис(триметилсилил)этиламина
Журнал структурной химии. 2014.
Т.55. №3. С.486-492.
|
49
|
Sulyaeva V.S.
, Kosinova M.L.
, Rumyantsev Y.M.
, Kesler V.G.
, Kuznetsov F.A.
PECVD synthesis and optical properties of BCXNY films obtained from N-triethylborazine as a single-source precursor
Surface & Coatings Technology. 2013.
V.230. P.145-151. DOI: 10.1016/j.surfcoat.2013.06.018
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
50
|
Сысоев С.В.
, Никулина Л.Д.
, Ермакова Е.Н.
, Косинова М.Л.
, Рахлин В.И.
, Цырендоржиева И.П.
, Лис А.В.
, Воронков М.Г.
Et3GeN(SiМе3)2 И Et3SnN(SiМе3)2 – НОВЫЕ ИСХОДНЫЕ ВЕЩЕСТВА ДЛЯ ПРОЦЕССОВ ГАЗОФАЗНОГО ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ
Неорганические материалы. 2013.
Т.49. №4. С.376-380. DOI: 10.7868/s0002337x13040179
РИНЦ
OpenAlex
|
51
|
Ermakova E.
, Lis A.
, Kosinova M.
, Rumyantsev Y.
, Maximovskii E.
, Rakhlin V.
Bis(trimethylsilyl)Ethylamine: Synthesis, Properties and its use as CVD Precursor
Physics Procedia. 2013.
V.46. P.209-218. DOI: 10.1016/j.phpro.2013.07.069
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
52
|
Korobeinichev O.P.
, Shmakov A.G.
, Maksyutov R.A.
, Tereshchenko A.G.
, Knyazkov D.A.
, Bolshova T.A.
, Kosinova M.L.
, Sulyaeva V.S.
, Wu J.-S.
Synthesis of mesoporous nanocrystalline TiO2 films in a premixed H2/O2/Ar flame
Combustion, Explosion, and Shock Waves. 2012.
V.48. N1. P.49-56. DOI: 10.1134/s0010508212010078
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
53
|
Hoffmann P.S.
, Baake O.
, Kosinova M.L.
, Beckhoff B.
, Klein A.
, Pollakowski B.
, Trunova V.A.
, Sulyaeva V.S.
, Kuznetsov F.A.
, Ensinger W.
Chemical bonds and elemental compositions of BCxNy layers produced by chemical vapor deposition with trimethylamine borane, triethylamine borane, or trimethylborazine
X-Ray Spectrometry. 2012.
V.41. N4. P.240-246. DOI: 10.1002/xrs.2387
WOS
Scopus
OpenAlex
|
54
|
Кеслер В.Г.
, Косинова М.Л.
, Румянцев Ю.М.
, Суляева В.С.
Исследование химического состава пленок BCxNy методами РФЭС и Оже-спектроскопии
Журнал структурной химии. 2012.
Т.53. №4. С.710 – 717.
|
55
|
Kesler V.G.
, Kosinova M.L.
, Rumyantsev Y.M.
, Sulyaeva V.S.
X-ray photoelectron and auger spectroscopic study of the chemical composition of BCxNy films
Journal of Structural Chemistry. 2012.
V.53. N4. P.699-707. DOI: 10.1134/s0022476612040129
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
56
|
Shayapov V.R.
, Kosinova M.L.
, Smirnov A.P.
, Maksimovskii E.A.
, Ayupov B.M.
, Rumyantsev Y.M.
Mechanical properties and density of BCxNy films grown by low-pressure chemical vapor deposition from triethylamine borane
Inorganic Materials. 2011.
V.47. P.262-266. DOI: 10.1134/S0020168511030204
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
57
|
Korobeinichev O.P.
, Shmakov A.G.
, Chernov A.A.
, Kosinova M.L.
, Sulyaeva V.S.
, Kuznetsov F.A.
Thermal decomposition of trimethylamine borane as a precursor to nanocrystalline CVD BCxNy films
Inorganic Materials. 2011.
V.47. N11. P.1199-1204. DOI: 10.1134/s0020168511100128
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
58
|
Шаяпов В.Р.
, Косинова М.Л.
, Смирнов А.П.
, Максимовский Е.А.
, Аюпов Б.М.
, Румянцев Ю.М.
Механические свойства и плотность пленок BCxNy, синтезированных из триэтиламинборана методом химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении
Неорганические материалы. 2011.
Т.43. №3. С.312-316.
РИНЦ
|
59
|
Sulyaeva V.S.
, Kosinova M.L.
, Rumyantsev Y.M.
, Golubenko A.N.
, Fainer N.I.
, Alferova N.I.
, Ayupov B.M.
, Gevko P.N.
, Kesler V.G.
, Kolesov B.A.
, Maksimovskii E.A.
, Myakishev K.G.
, Yushina I.V.
, Kuznetsov F.A.
Properties of BCxNy films grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition from N-trimethylborazine-nitrogen mixtures
Inorganic Materials. 2010.
V.46. N5. P.487-494. DOI: 10.1134/s0020168510050092
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
60
|
Baake O.
, Hoffmann P.S.
, Klein A.
, Pollakowski B.
, Beckhoff B.
, Kosinova M.L.
, Fainer N.I.
, Sulyaeva V.S.
, Trunova V.A.
, Ensinger W.
Speciation of BCxNy films grown by PECVD with trimethylborazine precursor
Analytical and Bioanalytical Chemistry. 2009.
V.395. N6. P.1901-1909. DOI: 10.1007/s00216-009-3056-6
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|