Доклады на конференциях - Sciact

Доклады на конференциях (7)

#	Публикация
1	Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Лебедев М.С. Тонкие пленки Hf-Ti-O, полученные методом атомно-слоевого осаждения из тетракисдиэтиламида гафния, тетрахлорида титана и воды XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024» 16-20 сент. 2024
2	Хижняк Е.А. , Лебедев М.С. , Шаяпов В.Р. ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ ОСАЖДЕНИЯ НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ОСАЖДЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024
3	Лебедев М.С. Молекулярное наслаивание пленок в системе Zr-Ti-O Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024
4	Петухова Д.Е. , Лебедев М.С. Получение тонких пленок Sm-Ti-O из реагентов Sm(iPrCp)3, TiCl4 и H2O IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023
5	Викулова Е.С. , Ильин И.Ю. , Доровских С.И. , Волчек В.В. , Петухова Д.Е. , Ильдяков А.В. , Лебедев М.С. , Резванов А.А. , Морозова Н.Б. Получение высокочистых металлорганических соединений для осаждения материалов микроэлектроники IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023
6	Петухова Д.Е. , Лебедев М.С. Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11-13 июл. 2022
7	Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Лебедев М.С. ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК HfO2, TiO2 И Hf-Ti-O МЕТОДОМ ИНФРАКРАСНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11-13 июл. 2022

1 / 1 - Всего 7 записей

Фильтр

Название доклада

Название конференции

Год

Автор

Язык

Сортировка

Столбцы

Записей на страницу

Сбросить