|
1
|
Викулова Е.С.
, Резванов А.А.
Высокочистые металлорганические соединения и их применение для осаждения материалов микроэлектроники
Совместное заседание "Материалы для микро- и радиоэлектроники: текущее состояние, проблемы и перспективы" трех Советов
02-02 июл. 2025
|
|
2
|
Доровских С.И.
, Викулова Е.С.
, Сергеевичев Д.С.
, Морозова Н.Б.
, Жеравин А.А.
ЛЕТУЧИЕ КОМПЛЕКСЫ ДРАГОЦЕННЫХ МЕТАЛЛОВ ДЛЯ ГАЗОФАЗНОГО ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР НА ПОВЕРХНОСТИ TI-СОДЕРЖАЩИХ ИМПЛАНТАТОВ
XXIX Международная Чугаевская конференция по координационной химии
23-27 июн. 2025
|
|
3
|
Викулова Е.С.
Разработки ИНХ СО РАН: высокочистые соединения титана, циркония и гафния для микроэлектроники
XI Международный форум технологического развития «Технопром-2024»
27-30 авг. 2024
|
|
4
|
Vikulova E.S.
, Kochelakov D.V.
, Rikhter E.A.
, Zherikova K.V.
Noncovalent Interactions in Design of Volatile MOCVD Precursors: A Case of Magnesium β-Diketonate Complexes
III Международный симпозиум «Нековалентные взаимодействия в синтезе, катализе и кристаллохимическом дизайне»
19-25 авг. 2024
|
|
5
|
Кочелаков Д.В.
, Викулова Е.С.
, Громилов С.А.
ИЗУЧЕНИЕ ЛЕТУЧИХ КОМПЛЕКСОВ ГЕКСАФТОРАЦЕТИЛАЦЕТОНАТА КАЛИЯ С 18-КРАУН-6 ЭФИРОМ / МАГНИЕМ
XI Национальная кристаллохимическая конференция
01-05 июл. 2024
|
|
6
|
Рихтер Э.А.
, Стригуновская А.В.
, Сухих Т.С.
, Викулова Е.С.
Летучие β-дикетонатные прекурсоры для получения MgO: влияние заместителя в лигандах на строение и термические свойства
XXXIV Российская молодёжная научная конференция с международным участием «Проблемы теоретической и экспериментальной химии»
23-26 апр. 2024
|
|
7
|
Викулова Е.С.
Летучие координационные соединения для газофазных процессов металлизации
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 февр. 2024
|
|
8
|
Морозова Н.Б.
, Викулова Е.С.
, Доровских С.И.
, Сергеевичев Д.С.
, Корецкая Т.П.
Гетероструктуры на основе пленок благородных металлов с наночастицами Ag, Au: получение, исследование биосовместимости и антибактериальной активности
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 февр. 2024
|
|
9
|
Рихтер Э.А.
, Шутилов Р.А.
, Игуменов И.К.
, Викулова Е.С.
MO CVD получение покрытий с использованием высокоскоростного светового нагрева
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 февр. 2024
|
|
10
|
Петухова Д.Е.
, Афонин М.Ю.
, Сартакова А.В.
, Сысоев С.В.
, Викулова Е.С.
Термические свойства летучих соединений гафния и скандия для атомно-слоевого осаждения оксидных структур
IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023”
15-18 сент. 2023
|
|
11
|
Викулова Е.С.
, Ильин И.Ю.
, Доровских С.И.
, Волчек В.В.
, Петухова Д.Е.
, Ильдяков А.В.
, Лебедев М.С.
, Резванов А.А.
, Морозова Н.Б.
Получение высокочистых металлорганических соединений для осаждения материалов микроэлектроники
IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023”
15-18 сент. 2023
|
|
12
|
Петухова Д.Е.
, Сартакова А.В.
, Афонин М.Ю.
, Сысоев С.В.
, Викулова Е.С.
Исследование термических свойств трис-метилциклопентадиенилскандия
XV Симпозиум с международным участием «ТЕРМОДИНАМИКА И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ»
03-07 июл. 2023
|