Летучие координационные соединения для газофазных процессов металлизации - Conference attendances

Летучие координационные соединения для газофазных процессов металлизации Conference attendances

Language

Русский

Participant type

Устный

Conference

Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 Feb 2024 , Новосибирск

Authors

Vikulova Evgeniya Sergeevna ¹ , Dorovskikh Svetlana Igorevna ¹ , Ilʹin Igorʹ Yurʹevich ¹ , Rezvanov Askar Anvarovich ^1,2 , Morozova Natalʹya Borisovna ¹

Affiliations

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences
2	Research Institute of Molecular Electronics

Викулова Е.С. , Доровских С.И. , Ильин И.Ю. , Резванов А.А. , Морозова Н.Б.
Летучие координационные соединения для газофазных процессов металлизации
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024