Летучие координационные соединения для газофазных процессов металлизации - Доклады на конференциях

Летучие координационные соединения для газофазных процессов металлизации Доклады на конференциях

Язык

Русский

Тип доклада

Устный

Конференция

Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 февр. 2024 , Новосибирск

Авторы

Викулова Евгения Сергеевна ¹ , Доровских Светлана Игоревна ¹ , Ильин Игорь Юрьевич ¹ , Резванов Аскар Анварович ^1,2 , Морозова Наталья Борисовна ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН
2	АО НИИ Молекулярной электроники

Викулова Е.С. , Доровских С.И. , Ильин И.Ю. , Резванов А.А. , Морозова Н.Б.
Летучие координационные соединения для газофазных процессов металлизации
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024