Исследование высокочистых комплексов циркония и гафния для оптимизации параметров процессов атомно-слоевого осаждения - Conference attendances

Исследование высокочистых комплексов циркония и гафния для оптимизации параметров процессов атомно-слоевого осаждения Conference attendances

Language

Русский

Participant type

Устный

Conference

XXXVII Симпозиум "Современная химическая физика"
15-25 Sep 2025 , Туапсе

Authors

Ильин И.Ю. ¹ , Ситчихин Б.А. ^1,2 , Викулова Е.С. ¹

Affiliations

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences
2	Novosibirsk State University

Ильин И.Ю. , Ситчихин Б.А. , Викулова Е.С.
Исследование высокочистых комплексов циркония и гафния для оптимизации параметров процессов атомно-слоевого осаждения
XXXVII Симпозиум "Современная химическая физика" 15-25 сент. 2025