Исследование высокочистых комплексов циркония и гафния для оптимизации параметров процессов атомно-слоевого осаждения - Доклады на конференциях

Исследование высокочистых комплексов циркония и гафния для оптимизации параметров процессов атомно-слоевого осаждения Доклады на конференциях

Язык

Русский

Тип доклада

Устный

Конференция

XXXVII Симпозиум "Современная химическая физика"
15-25 сент. 2025 , Туапсе

Авторы

Ильин И.Ю. ¹ , Ситчихин Б.А. ^1,2 , Викулова Е.С. ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН
2	Новосибирский государственный университет

Ильин И.Ю. , Ситчихин Б.А. , Викулова Е.С.
Исследование высокочистых комплексов циркония и гафния для оптимизации параметров процессов атомно-слоевого осаждения
XXXVII Симпозиум "Современная химическая физика" 15-25 сент. 2025