Разработки ИНХ СО РАН: высокочистые соединения титана, циркония и гафния для микроэлектроники - Conference attendances

Разработки ИНХ СО РАН: высокочистые соединения титана, циркония и гафния для микроэлектроники Conference attendances

Language

Русский

Participant type

Устный

Conference

XI Международный форум технологического развития «Технопром-2024»
23-26 Aug 2024 , Новосибирск

Authors

Vikulova Evgeniya Sergeevna ¹

Affiliations

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences

Викулова Е.С.
Разработки ИНХ СО РАН: высокочистые соединения титана, циркония и гафния для микроэлектроники
XI Международный форум технологического развития «Технопром-2024» 23-26 авг. 2024