Разработки ИНХ СО РАН: высокочистые соединения титана, циркония и гафния для микроэлектроники - Доклады на конференциях

Разработки ИНХ СО РАН: высокочистые соединения титана, циркония и гафния для микроэлектроники Доклады на конференциях

Язык

Русский

Тип доклада

Устный

Конференция

XI Международный форум технологического развития «Технопром-2024»
27-30 авг. 2024 , Новосибирск

Авторы

Викулова Евгения Сергеевна ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Викулова Е.С.
Разработки ИНХ СО РАН: высокочистые соединения титана, циркония и гафния для микроэлектроники
XI Международный форум технологического развития «Технопром-2024» 27-30 авг. 2024