Sciact
  • EN
  • RU

Unlocking Material Properties via Precursor Design: How Applications Shape the Chemistry of MOCVD and ALD Conference attendances

Language Русский
Participant type Ключевой
Conference V Международная конференция «Атомно-Слоевое Осаждение: Россия-2026»
08-11 Sep 2026 , Новосибирск
Authors Vikulova Е.S. 1 , Dorovskikh S.I. 1 , Ilyin I.Yu. 1 , Savkov B.Yu. 1 , Rikhter E.A. 1 , Morozova N.B. 1
Affiliations
1 Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences
Cite: Vikulova Е.S. , Dorovskikh S.I. , Ilyin I.Y. , Savkov B.Y. , Rikhter E.A. , Morozova N.B.
Unlocking Material Properties via Precursor Design: How Applications Shape the Chemistry of MOCVD and ALD
V Международная конференция «Атомно-Слоевое Осаждение: Россия-2026» 08-11 сент. 2026