Unlocking Material Properties via Precursor Design: How Applications Shape the Chemistry of MOCVD and ALD - Доклады на конференциях

Unlocking Material Properties via Precursor Design: How Applications Shape the Chemistry of MOCVD and ALD Доклады на конференциях

Язык

Русский

Тип доклада

Ключевой

Конференция

V Международная конференция «Атомно-Слоевое Осаждение: Россия-2026»
08-11 сент. 2026 , Новосибирск

Авторы

Vikulova Е.S. ¹ , Dorovskikh S.I. ¹ , Ilyin I.Yu. ¹ , Savkov B.Yu. ¹ , Rikhter E.A. ¹ , Morozova N.B. ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Vikulova Е.S. , Dorovskikh S.I. , Ilyin I.Y. , Savkov B.Y. , Rikhter E.A. , Morozova N.B.
Unlocking Material Properties via Precursor Design: How Applications Shape the Chemistry of MOCVD and ALD
V Международная конференция «Атомно-Слоевое Осаждение: Россия-2026» 08-11 сент. 2026