|
61
|
Плеханов А.Г.
, Файнер Н.И.
, Максимовский Е.А.
, Шаяпов В.Р.
, Юшина И.В.
, Хомяков М.Н.
ПОЛУЧЕНИЕ ВЫСОКОПРОЗРАЧНЫХ ПЛЕНОК SiCxNyOz:H ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИМ РАЗЛОЖЕНИЕМ ГАЗОВОЙ СМЕСИ 1,1,3,3,5,5-ГЕКСАМЕТИЛЦИКЛОТРИСИЛАЗАНА, КИСЛОРОДА И АЗОТА
Журнал общей химии. 2019.
Т.89. №11. С.1786-1791. DOI: 10.1134/S0044460X19110209
РИНЦ
OpenAlex
|
|
62
|
Plekhanov A.G.
, Fainer N.I.
, Maksimovskiy E.A.
, Shayapov V.R.
, Yushina I.V.
, Khomyakov M.N.
Synthesis of Highly Transparent SiCxNyOz:H Films via Plasma-Chemical Decomposition of 1,1,3,3,5,5-Hexamethylcyclotrisilazane, Oxygen, and Nitrogen Gas Mixture
Russian Journal of General Chemistry. 2019.
V.89. N11. P.2290-2294. DOI: 10.1134/S1070363219110203
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
63
|
Atuchin V.V.
, Lebedev M.S.
, Korolkov I.V.
, Kruchinin V.N.
, Maksimovskii E.A.
, Trubin S.V.
Composition-sensitive growth kinetics and dispersive optical properties of thin HfxTi1−xO2 (0 ≤ x ≤ 1) films prepared by the ALD method
Journal of Materials Science: Materials in Electronics. 2019.
V.30. N1. P.812-823. DOI: 10.1007/s10854-018-0351-z
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
64
|
Tatarchuk V.
, Druzhinina I.
, Zaikovskii V.
, Maksimovskii E.
, Korolkov I.
, Antonova O.
Synthesis of ZnO nanoparticles and a composite with polyacrylamide in acrylamide solutions
Journal of Sol-Gel Science and Technology. 2018.
V.85. N1. P.66-75. DOI: 10.1007/s10971-017-4512-y
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
65
|
Файнер Н.И.
, Плеханов А.Г.
, Голубенко А.Н.
, Румянцев Ю.М.
, Максимовский Е.А.
, Шаяпов В.Р.
Структура и элементный состав прозрачных нанокомпозитных пленок оксикарбонитрида кремния
Журнал структурной химии. 2017.
Т.58. №1. С.125-132. DOI: 10.15372/JSC20170118
OpenAlex
|
|
66
|
Fainer N.I.
, Plekhanov A.G.
, Golubenko A.N.
, Rumyantsev Y.M.
, Maksimovskii E.A.
, Shayapov V.R.
STRUCTURE AND ELEMENTAL COMPOSITION OF TRANSPARENT NANOCOMPOSITE SILICON OXYCARBONITRIDE FILMS
Journal of Structural Chemistry. 2017.
V.58. N1. P.119-125. DOI: 10.1134/S0022476617010188
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
67
|
Суляева В.С.
, Плеханов А.Г.
, Максимовский Е.А.
, Файнер Н.И.
, Румянцев Ю.М.
, Косинова М.Л.
Характеризация тонких пленок карбонитридов бора и кремния методом волнодисперсионной спектроскопии
Физикохимия поверхности и защита материалов. 2017.
V.53. N6. P.662-666. DOI: 10.7868/s0044185617060225
РИНЦ
OpenAlex
|
|
68
|
Sulyaeva V.S.
, Plekhanov A.G.
, Maksimovskii E.A.
, Fainer N.I.
, Rumyantsev Y.M.
, Kosinova M.L.
Characterization of Thin Boron and Silicon Carbonitride Films by Wavelength Dispersive Spectroscopy
Protection of Metals and Physical Chemistry of Surfaces. 2017.
V.53. N6. P.1187–1191. DOI: 10.1134/S2070205117060211
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
69
|
Yakovkina L.V.
, Mutilin S.V.
, Prinz V.Y.
, Smirnova T.P.
, Shayapov V.R.
, Korol’kov I.V.
, Maksimovsky E.A.M.
, Volchok N.D.
MOCVD growth and characterization of vanadium dioxide films
Journal of Materials Science. 2017.
V.52. N7. P.4061-4069. DOI: 10.1007/s10853-016-0669-y
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
70
|
Bakovets V.V.
, Belaya S.V.
, Korol'kov I.V.
, Maksimovskii E.A.
, Rakhmanova M.I.
, Stabnikov P.A.
, Yushina I.V.
Photoluminescence of Submicron-Thick CVD (GdxY1 – x)2O3:Eu3+ (11–14 at % Eu) Films
Inorganic Materials. 2017.
V.53. N6. P.613-618. DOI: 10.1134/S0020168517060012
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
71
|
Fainer N.I.
, Plekhanov A.G.
, Golubenko A.N.
, Rumyantsev Y.M.
, Rakhlin V.I.
, Maximovski E.A.
, Shayapov V.R.
PECVD Synthesis of Silicon Carbonitride Layers Using Methyltris(diethylamino)silane as the New Single-Source Precursor
ECS Journal of Solid State Science and Technology. 2015.
Т.4. №1. С.N3153-N3163. DOI: 10.1149/2.0201501jss
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
72
|
Меренков И.С.
, Косинова М.Л.
, Ермакова Е.Н.
, Максимовский Е.А.
, Румянцев Ю.М.
PECVD СИНТЕЗ НАНОСТЕНОК ГЕКСАГОНАЛЬНОГО НИТРИДА БОРА ИЗ СМЕСИ БОРАЗИНА И АММИАКА
Неорганические материалы. 2015.
Т.51. №11. 1183–1189
:1-7. DOI: 10.7868/S0002337X15100115
РИНЦ
OpenAlex
|
|
73
|
Ermakova E.
, Mogilnikov K.
, Rumyantsev Y.
, Kichay V.
, Maximovskii E.
, Semenova O.
, Kosinova M.
Study of Cu diffusion behavior in carbon rich SiCN:H films deposited from trimethylphenylsilane
Thin Solid Films. 2015.
V.588. P.39-43. DOI: 10.1016/j.tsf.2015.04.058
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
74
|
Суляева В.С.
, Максимовский Е.А.
, Косинова М.Л.
, Румянцев Ю.М.
Особенности анализа элементного состава пленок карбонитрида бора методом ЭДС
Физикохимия поверхности и защита материалов. 2014.
Т.50. №2. С.219-224. DOI: 10.7868/s004418561402017x
РИНЦ
OpenAlex
|
|
75
|
Sulyaeva V.S.
, Maksimovskii E.A.
, Kosinova M.L.
, Rumyantsev Y.M.
Analysis Features of Elemental Composition of Boron Carbonitride Films by EDS
Protection of Metals and Physical Chemistry of Surfaces. 2014.
V.50. N2. P.273–277. DOI: 10.1134/S2070205114020178
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
76
|
Файнер Н.И.
, Плеханов А.Г.
, Румянцев Ю.М.
, Максимовский Е.А.
, Шаяпов В.Р.
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть I. Химический и фазовый состав
Физика и химия стекла. 2014.
Т.40. №5. С.749-758.
РИНЦ
|
|
77
|
Fainer N.I.
, Plekhanov A.G.
, Rumyantsev Y.M.
, Maximovskii E.A.
, Shayapov V.R.
Films of Hydrogenated Silicon Oxycarbonitride. Part I. Chemical and Phase Composition
Glass Physics and Chemistry. 2014.
V.40. N5. P.570-577. DOI: 10.1134/S1087659614050034
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
78
|
Баковец В.В.
, Белая С.В.
, Лобзарева М.Н.
, Максимовский Е.А.
КИНЕТИКА ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК ОКСИДА ТЕРБИЯ ИЗ ПАРОВ Tb(dpm)3
Неорганические материалы. 2014.
Т.50. №6. С.625-630. DOI: 10.7868/S0002337X14060013
РИНЦ
OpenAlex
|
|
79
|
Ermakova E.
, Lis A.
, Kosinova M.
, Rumyantsev Y.
, Maximovskii E.
, Rakhlin V.
Bis(trimethylsilyl)Ethylamine: Synthesis, Properties and its use as CVD Precursor
Physics Procedia. 2013.
V.46. P.209-218. DOI: 10.1016/j.phpro.2013.07.069
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
80
|
Shayapov V.R.
, Kosinova M.L.
, Smirnov A.P.
, Maksimovskii E.A.
, Ayupov B.M.
, Rumyantsev Y.M.
Mechanical properties and density of BCxNy films grown by low-pressure chemical vapor deposition from triethylamine borane
Inorganic Materials. 2011.
V.47. P.262-266. DOI: 10.1134/S0020168511030204
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|