Comparative study of thermal behavior of a series beta-diketonate precursors for chemical vapor deposition of lithium-containing films Научная публикация
| Журнал |
Vacuum
ISSN: 0042-207X , E-ISSN: 1879-2715 |
||
|---|---|---|---|
| Вых. Данные | Год: 2023, Том: 215, Номер статьи : 112359, Страниц : 9 DOI: 10.1016/j.vacuum.2023.112359 | ||
| Авторы |
|
||
| Организации |
|
Информация о финансировании (3)
| 1 | Министерство науки и высшего образования Российской Федерации | 121031700313-8 |
| 2 | Министерство науки и высшего образования Российской Федерации | 121031700314-5 |
| 3 | Российский научный фонд | 22-23-01034 |
Библиографическая ссылка:
Turgambaeva A.E.
, Urkasym kyzy S.
, Korolkov I.V.
, Maksimovskii E.A.
, Syrokvashin M.M.
, Stabnikov P.A.
, Krisyuk V.V.
Comparative study of thermal behavior of a series beta-diketonate precursors for chemical vapor deposition of lithium-containing films
Vacuum. 2023. V.215. 112359 :1-9. DOI: 10.1016/j.vacuum.2023.112359 WOS Scopus OpenAlex
Comparative study of thermal behavior of a series beta-diketonate precursors for chemical vapor deposition of lithium-containing films
Vacuum. 2023. V.215. 112359 :1-9. DOI: 10.1016/j.vacuum.2023.112359 WOS Scopus OpenAlex
Даты:
| Поступила в редакцию: | 7 мая 2023 г. |
| Опубликована в печати: | 1 сент. 2023 г. |
Идентификаторы БД:
| Web of science: | WOS:001037981600001 |
| Scopus: | 2-s2.0-85164726247 |
| OpenAlex: | W4382363953 |