|
1
|
Petukhova D.E.
, Vikulova E.S.
, Korolkov I.V.
, Khmel S.Y.
, Lebedev M.S.
Growth Features and Phase Composition of Hf–Sc–O thin Films Synthesized by Atomic Layer Deposition
Journal of Structural Chemistry. 2023.
V.64. N3. P.424-436. DOI: 10.1134/s0022476623030083
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
2
|
Petukhova D.E.
, Kichay V.N.
, Lebedev M.S.
The Structural and Electrical Properties of High-K Hf-Sm-O Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition
In compilation
2023 IEEE 24th International Conference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM).
2023.
– ISBN 9798350336870. DOI: 10.1109/EDM58354.2023.10225098
OpenAlex
|
|
3
|
Петухова Д.Е.
, Сартакова А.В.
, Сухих Т.С.
, Афонин М.Ю.
, Сысоев С.В.
, Викулова Е.С.
СТРОЕНИЕ И ТЕРМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТРИС-(МЕТИЛЦИКЛОПЕНТАДИЕНИЛ)СКАНДИЯ
Журнал структурной химии. 2023.
Т.64. №12. 123233
. DOI: 10.26902/JSC_id123233
РИНЦ
|
|
4
|
Petukhova D.E.
, Sartakova A.V.
, Sukhikh T.S.
, Afonin M.Y.
, Sysoev S.V.
, Vikulova E.S.
STRUCTURE AND THERMAL PROPERTIES OF TRIS-(METHYLCYCLOPENTADIENYL)SCANDIA
Journal of Structural Chemistry. 2023.
V.64. P.2461-2471. DOI: 10.1134/S002247662312017X
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
5
|
Петухова Д.Е.
, Викулова Е.С.
, Корольков И.В.
, Хмель С.Я.
, Лебедев М.С.
Особенности роста и фазовый состав тонких плёнок Hf-Sc-O, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения
Журнал структурной химии. 2023.
Т.64. №3. 107605
. DOI: 10.26902/jsc_id107605
РИНЦ
OpenAlex
|
|
6
|
Ayvazyan G.Y.
, Katkov M.V.
, Lebedev M.S.
, Shayapov V.R.
, Afonin M.Y.
, Petukhova D.E.
, Yushina I.V.
, Maksimovskii E.A.
, Aghabekyan A.V.
Anti-Reflection Properties of Black Silicon Coated with Thin Films of Metal Oxides by Atomic Layer Deposition
Journal of contemporary physics /. 2021.
V.56. N3. P.240-246. DOI: 10.3103/s1068337221030075
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
7
|
Lebedev M.S.
, Khmel S.Y.
, Lyulyukin M.N.
, Petukhova D.E.
, Barsukov A.V.
Low-temperature fabrication of SiO x -TiO 2 core-shell nanowires for photocatalytic application
Vacuum. 2019.
V.165. P.51-57. DOI: 10.1016/j.vacuum.2019.03.059
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
8
|
Mishchenko I.B.
, Petukhova D.E.
, Lebedev M.S.
Research of Atomic Layer Deposited HfO2/TiO2 Multilayer Structures by Spectroscopic and Multiangle Monochromatic Null Ellipsometry
In compilation
2018 19th International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices (EDM).
2018.
– C.26-29. DOI: 10.1109/edm.2018.8434943
OpenAlex
|