Abstract: Пленки Hf–Sc–O синтезированы методом атомно-слоевого осаждения с использованием паров тетракис-диэтиламида гафния (Hf(N(C2H5)2)4, TDEAH), трис-метилциклопентадиенила скандия (Sc(C5H4CH3)3) и воды при 300 °C на подложках из монокристаллического кремния (100) и массивах ориентированных микроканатов (МОМК) SiOх. Образцы исследованы комплексом физико-химических методов: одноволновая эллипсометрия, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, рентгеновская дифракция, просвечивающая и сканирующая электронная микроскопия. Определены значения константы роста (прирост толщины пленки за один реакционный цикл) для индивидуальных и смешанных оксидов, охарактеризованы образующиеся в пленках фазы, установлена взаимосвязь морфологии поверхности и химического состава, исследованы оптические свойства образцов. Использование МОМК в качестве подложек позволило достоверно идентифицировать формирование упорядоченной δ-фазы Hf3Sc4O12 ромбоэдрического структурного типа пространственной группы R–3.

Cite: Петухова Д.Е. , Викулова Е.С. , Корольков И.В. , Хмель С.Я. , Лебедев М.С.
Особенности роста и фазовый состав тонких плёнок Hf-Sc-O, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения
Журнал структурной химии. 2023. Т.64. №3. 107605 . DOI: 10.26902/jsc_id107605 РИНЦ OpenAlex

Translated: Petukhova D.E. , Vikulova E.S. , Korolkov I.V. , Khmel S.Y. , Lebedev M.S.
Growth Features and Phase Composition of Hf–Sc–O thin Films Synthesized by Atomic Layer Deposition
Journal of Structural Chemistry. 2023. V.64. N3. P.424-436. DOI: 10.1134/s0022476623030083 WOS Scopus OpenAlex

Dates:

Submitted:	Dec 23, 2022
Published print:	Mar 1, 2023

Identifiers:

Elibrary:	50412313
OpenAlex:	W4319159857

Citing: Пока нет цитирований

Altmetrics: