Sciact
Toggle navigation
  • EN
  • RU

Разделы:

  • Статьи
  • Книги
  • Доклады на конференциях
  • Тезисы докладов
  • Патенты

Доклады на конференциях (7)

# Публикация
1 Петухова Д.Е.
Трис-изопропилциклопентадиенил самария и его применение в процессах газофазного осаждения оксидных материалов
XXI Российская ежегодная конференция молодых научных сотрудников и аспирантов «Физико-химия и технология неорганических материалов» (с международным участием) 15-18 окт. 2024
2 Петухова Д.Е. , Лебедев М.С.
Получение тонких пленок Sm-Ti-O из реагентов Sm(iPrCp)3, TiCl4 и H2O
IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023
3 Петухова Д.Е. , Афонин М.Ю. , Сартакова А.В. , Сысоев С.В. , Викулова Е.С.
Термические свойства летучих соединений гафния и скандия для атомно-слоевого осаждения оксидных структур
IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023
4 Викулова Е.С. , Ильин И.Ю. , Доровских С.И. , Волчек В.В. , Петухова Д.Е. , Ильдяков А.В. , Лебедев М.С. , Резванов А.А. , Морозова Н.Б.
Получение высокочистых металлорганических соединений для осаждения материалов микроэлектроники
IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023
5 Петухова Д.Е. , Сартакова А.В. , Афонин М.Ю. , Сысоев С.В. , Викулова Е.С.
Исследование термических свойств трис-метилциклопентадиенилскандия
XV Симпозиум с международным участием «ТЕРМОДИНАМИКА И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ» 03-07 июл. 2023
6 Петухова Д.Е. , Лебедев М.С.
Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения
Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11-13 июл. 2022
7 Петухова Д.Е.
Использование подложек различной морфологии для исследования структуры сверхтонких плёнок оксидов металлов
XXII Международная научно-практическая конференция студентов и молодых ученых "ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ В XXI ВЕКЕ" 17-20 мая 2021

1   /  1   -  Всего 7 записей

Фильтр

Сортировка

Поле Направление

Столбцы

Сбросить