Доклады на конференциях - Sciact

Доклады на конференциях (3)

#	Публикация
1	Ильин И.Ю. , Ситчихин Б.А. , Викулова Е.С. Исследование высокочистых комплексов циркония и гафния для оптимизации параметров процессов атомно-слоевого осаждения XXXVII Симпозиум "Современная химическая физика" 15-25 сент. 2025
2	Викулова Е.С. , Доровских С.И. , Ильин И.Ю. , Резванов А.А. , Морозова Н.Б. Летучие координационные соединения для газофазных процессов металлизации Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024
3	Викулова Е.С. , Ильин И.Ю. , Доровских С.И. , Волчек В.В. , Петухова Д.Е. , Ильдяков А.В. , Лебедев М.С. , Резванов А.А. , Морозова Н.Б. Получение высокочистых металлорганических соединений для осаждения материалов микроэлектроники IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023

1 / 1 - Всего 3 записей

Фильтр

Название доклада

Название конференции

Год

Автор

Язык

Сортировка

Столбцы

Записей на страницу

Сбросить