Доклады на конференциях - Sciact

Доклады на конференциях (5)

#	Публикация
1	Викулова Е.С. , Доровских С.И. , Савков Б.Ю. , Волчек В.В. , Ильин И.Ю. , Ильдяков А.В. , Резванов А.А. , Морозова Н.Б. Высокочистые металлорганические соединения для осаждения диэлектрических и проводящих слоев Школа молодых учёных в рамках Российского форума «Микроэлектроника-2026» 21-29 сент. 2026
2	Vikulova Е.S. , Dorovskikh S.I. , Ilyin I.Y. , Savkov B.Y. , Rikhter E.A. , Morozova N.B. Unlocking Material Properties via Precursor Design: How Applications Shape the Chemistry of MOCVD and ALD V Международная конференция «Атомно-Слоевое Осаждение: Россия-2026» 08-11 сент. 2026
3	Ильин И.Ю. , Ситчихин Б.А. , Викулова Е.С. Исследование высокочистых комплексов циркония и гафния для оптимизации параметров процессов атомно-слоевого осаждения XXXVII Симпозиум "Современная химическая физика" 15-25 сент. 2025
4	Викулова Е.С. , Доровских С.И. , Ильин И.Ю. , Резванов А.А. , Морозова Н.Б. Летучие координационные соединения для газофазных процессов металлизации Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024
5	Викулова Е.С. , Ильин И.Ю. , Доровских С.И. , Волчек В.В. , Петухова Д.Е. , Ильдяков А.В. , Лебедев М.С. , Резванов А.А. , Морозова Н.Б. Получение высокочистых металлорганических соединений для осаждения материалов микроэлектроники IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023

1 / 1 - Всего 5 записей

Фильтр

Название доклада

Название конференции

Год

Автор

Язык

Сортировка

Столбцы

Записей на страницу

Сбросить