Доклады на конференциях

#	Публикация
1	Викулова Е.С. , Ильин И.Ю. , Доровских С.И. , Волчек В.В. , Петухова Д.Е. , Ильдяков А.В. , Лебедев М.С. , Резванов А.А. , Морозова Н.Б. Получение высокочистых металлорганических соединений для осаждения материалов микроэлектроники IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 сент. 2023

1 / 1 - Всего 1 записей

Название доклада

Название конференции

Год

Автор

Язык

Записей на страницу

Сбросить