Доклады на конференциях - Sciact

Доклады на конференциях (3)

#	Публикация
1	Ермакова Е.Н. , Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Косинова М.Л. Состав и свойства пленок, получаемых методом плазмохимического осаждения из смеси гексаметилдисилана и аммиака XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024» 16-20 сент. 2024
2	Шаяпов В.Р. , Чагин М.Н. , Дудкина С.П. , Суляева В.С. , Ермакова Е.Н. , Косинова М.Л. Состав и свойства пленок, осаждаемых из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024» 16-20 сент. 2024
3	Ермакова Е.Н. , Чагин М.Н. , Дудкина С.П. , Шаяпов В.Р. Особенности формирования и стабильность пленок SiCN:H, осажденных из паров гексаметилдисилана в процессах PECVD и ICP CVD Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024

1 / 1 - Всего 3 записей

Фильтр

Название доклада

Название конференции

Год

Автор

Язык

Сортировка

Столбцы

Записей на страницу

Сбросить