|
1
|
Хижняк Е.А.
, Шаяпов В.Р.
, Лебедев М.С.
Тонкие пленки Hf-Ti-O, полученные методом атомно-слоевого осаждения из тетракисдиэтиламида гафния, тетрахлорида титана и воды
XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024»
16-20 сент. 2024
|
|
2
|
Ермакова Е.Н.
, Хижняк Е.А.
, Шаяпов В.Р.
, Косинова М.Л.
Состав и свойства пленок, получаемых методом плазмохимического осаждения из смеси гексаметилдисилана и аммиака
XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024»
16-20 сент. 2024
|
|
3
|
Шаяпов В.Р.
, Чагин М.Н.
, Дудкина С.П.
, Суляева В.С.
, Ермакова Е.Н.
, Косинова М.Л.
Состав и свойства пленок, осаждаемых из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда
XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024»
16-20 сент. 2024
|
|
4
|
Хижняк Е.А.
, Лебедев М.С.
, Шаяпов В.Р.
ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ ОСАЖДЕНИЯ НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ОСАЖДЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 февр. 2024
|
|
5
|
Ермакова Е.Н.
, Чагин М.Н.
, Дудкина С.П.
, Шаяпов В.Р.
Особенности формирования и стабильность пленок SiCN:H, осажденных из паров гексаметилдисилана в процессах PECVD и ICP CVD
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 февр. 2024
|
|
6
|
Хижняк Е.А.
, Шаяпов В.Р.
, Лебедев М.С.
ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК HfO2, TiO2 И Hf-Ti-O МЕТОДОМ ИНФРАКРАСНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ
Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
11-13 июл. 2022
|