Состав и свойства пленок, осаждаемых из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда - Conference attendances

Состав и свойства пленок, осаждаемых из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда Conference attendances

Language

Русский

Participant type

Устный

URL

http://ssc-fm2024.ru/ssc-fm2024/%D0%A1%D0%B1%D0%BE%D1%80%D0%BD%D0%B8%D0%BA%20%D1%82%D1%80%D1%83%D0%B4%D0%BE%D0%B2%20%D0%A5%D0%A2%D0%A2%20%D0%B8%20%D0%A4%D0%9C_2024_.pdf

Conference

XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024»
16-20 Sep 2024 , Санкт-Петербург

Authors

Шаяпов В.Р. ¹ , Чагин М.Н. ¹ , Дудкина С.П. ¹ , Суляева В.С. ¹ , Ермакова Е.Н. ¹ , Косинова М.Л. ¹

Affiliations

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences

Шаяпов В.Р. , Чагин М.Н. , Дудкина С.П. , Суляева В.С. , Ермакова Е.Н. , Косинова М.Л.
Состав и свойства пленок, осаждаемых из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда
XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024» 16-20 сент. 2024