|
1
|
Петухова Д.Е.
Трис-изопропилциклопентадиенил самария и его применение в процессах газофазного осаждения оксидных материалов
XXI Российская ежегодная конференция молодых научных сотрудников и аспирантов «Физико-химия и технология неорганических материалов» (с международным участием)
15-18 окт. 2024
|
|
2
|
Петухова Д.Е.
, Лебедев М.С.
Получение тонких пленок Sm-Ti-O из реагентов Sm(iPrCp)3, TiCl4 и H2O
IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023”
15-18 сент. 2023
|
|
3
|
Петухова Д.Е.
, Афонин М.Ю.
, Сартакова А.В.
, Сысоев С.В.
, Викулова Е.С.
Термические свойства летучих соединений гафния и скандия для атомно-слоевого осаждения оксидных структур
IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023”
15-18 сент. 2023
|
|
4
|
Викулова Е.С.
, Ильин И.Ю.
, Доровских С.И.
, Волчек В.В.
, Петухова Д.Е.
, Ильдяков А.В.
, Лебедев М.С.
, Резванов А.А.
, Морозова Н.Б.
Получение высокочистых металлорганических соединений для осаждения материалов микроэлектроники
IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023”
15-18 сент. 2023
|
|
5
|
Петухова Д.Е.
, Сартакова А.В.
, Афонин М.Ю.
, Сысоев С.В.
, Викулова Е.С.
Исследование термических свойств трис-метилциклопентадиенилскандия
XV Симпозиум с международным участием «ТЕРМОДИНАМИКА И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ»
03-07 июл. 2023
|
|
6
|
Петухова Д.Е.
, Лебедев М.С.
Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения
Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
11-13 июл. 2022
|
|
7
|
Петухова Д.Е.
Использование подложек различной морфологии для исследования структуры сверхтонких плёнок оксидов металлов
XXII Международная научно-практическая конференция студентов и молодых ученых "ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ В XXI ВЕКЕ"
17-20 мая 2021
|