Sciact
Toggle navigation
  • EN
  • RU

Разделы:

  • Статьи
  • Книги
  • Доклады на конференциях
  • Тезисы докладов
  • Патенты

Статьи (4)

# Публикация
1 Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Корольков И.В. , Дудкина С.П. , Гейдт П.В. , Лебедев М.С.
ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУР ОСАЖДЕНИЯ И ОТЖИГА НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ
Журнал структурной химии. 2025. Т.66. №2. 140578 :1-12. DOI: 10.26902/JSC_id140578 OpenAlex
2 Khizhnyak E.A. , Shayapov V.R. , Korolkov I.V. , Dudkina S.P. , Geydt P.V. , Lebedev M.S.
EFFECT OF DEPOSITION AND ANNEALING TEMPERATURES ON THE PHASE COMPOSITION OF TiO2 FILMS OBTAINED BY ATOMIC LAYER DEPOSITION FROM TITANIUM TETRACHLORIDE AND WATER
Journal of Structural Chemistry. 2025. V.66. N2. P.293-303. DOI: 10.1134/S0022476625020088 WOS OpenAlex
3 Ермакова Е.Н. , Максимовский Е.А. , Федоренко А.Д. , Шаповалова А.А. , Хижняк Е.А. , Косинова М.Л.
Синтез и исследование пленок SiBCN, полученных в процессе плазмохимического осаждения из триэтиламинборана, гексаметидисилазана и аммиака
Журнал структурной химии. 2024. Т.65. №8. 130382 . DOI: 10.26902/jsc_id130382 РИНЦ OpenAlex
4 Ermakova E.N. , Maksimovsky E.A. , Fedorenko A.D. , Shapovalova A.A. , Khizhnyak E.A. , Kosinova M.L.
Synthesis and Analysis of SiBCN Films Obtained by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition from Triethylaminoborane, Hexamethyldisilazane, and Ammonia
Journal of Structural Chemistry. 2024. V.65. N8. P.1488-1501. DOI: 10.1134/s002247662408002x WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
1   /  1   -  Всего 4 записей

Фильтр

Сортировка

Поле Направление

Столбцы

Сбросить