Статьи - Sciact

Статьи (11)

#	Публикация
1	Petukhova D.E. , Korolkov I.V. , Saraev A.A. , Lebedev M.S. Growth Characteristics, Phase Composition, and Optical Properties of Ti–Sc–O Thin Films Synthesized by Atomic Layer Deposition Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2025. V.70. N9. P.1379-1390. DOI: 10.1134/S0036023625602752 WOS
2	Ермакова Е.Н. , Плеханов А.Г. , Шаяпов В.Р. , Суляева В.С. , Максимовский Е.А. , Петухова Д.Е. , Сараев А.А. , Герасимов Е.Ю. , Кириенко В.В. , Хомяков М.Н. , Косинова М.Л. АМОРФНЫЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕCКИЕ ПЛЕНКИ SiCNH, ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДОМ PECVD ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАНА Журнал структурной химии. 2025. Т.66. №11. 155150 . DOI: 10.26902/JSC_id155150
3	Петухова Д.Е. , КОРОЛЬКОВ И.В. , САРАЕВ А.А. , ЛЕБЕДЕВ М.С. Характеристики роста, фазовый состав и оптические свойства тонких пленок Ti-Sc-O, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения Журнал неорганической химии. 2025. Т.70. №9. С.1188-1200. DOI: 10.7868/S3034560X25090115
4	Petukhova D.E. , Vikulova E.S. , Korolkov I.V. , Khmel S.Y. , Lebedev M.S. Growth Features and Phase Composition of Hf–Sc–O thin Films Synthesized by Atomic Layer Deposition Journal of Structural Chemistry. 2023. V.64. N3. P.424-436. DOI: 10.1134/s0022476623030083 WOS Scopus OpenAlex
5	Petukhova D.E. , Kichay V.N. , Lebedev M.S. The Structural and Electrical Properties of High-K Hf-Sm-O Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition В сборнике 2023 IEEE 24th International Conference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM). 2023. – ISBN 9798350336870. DOI: 10.1109/EDM58354.2023.10225098 OpenAlex
6	Петухова Д.Е. , Сартакова А.В. , Сухих Т.С. , Афонин М.Ю. , Сысоев С.В. , Викулова Е.С. СТРОЕНИЕ И ТЕРМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТРИС-(МЕТИЛЦИКЛОПЕНТАДИЕНИЛ)СКАНДИЯ Журнал структурной химии. 2023. Т.64. №12. 123233 . DOI: 10.26902/JSC_id123233 РИНЦ
7	Petukhova D.E. , Sartakova A.V. , Sukhikh T.S. , Afonin M.Y. , Sysoev S.V. , Vikulova E.S. STRUCTURE AND THERMAL PROPERTIES OF TRIS-(METHYLCYCLOPENTADIENYL)SCANDIA Journal of Structural Chemistry. 2023. V.64. P.2461-2471. DOI: 10.1134/S002247662312017X WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
8	Петухова Д.Е. , Викулова Е.С. , Корольков И.В. , Хмель С.Я. , Лебедев М.С. Особенности роста и фазовый состав тонких плёнок Hf-Sc-O, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения Журнал структурной химии. 2023. Т.64. №3. 107605 . DOI: 10.26902/jsc_id107605 РИНЦ OpenAlex
9	Ayvazyan G.Y. , Katkov M.V. , Lebedev M.S. , Shayapov V.R. , Afonin M.Y. , Petukhova D.E. , Yushina I.V. , Maksimovskii E.A. , Aghabekyan A.V. Anti-Reflection Properties of Black Silicon Coated with Thin Films of Metal Oxides by Atomic Layer Deposition Journal of contemporary physics /. 2021. V.56. N3. P.240-246. DOI: 10.3103/s1068337221030075 WOS Scopus OpenAlex
10	Lebedev M.S. , Khmel S.Y. , Lyulyukin M.N. , Petukhova D.E. , Barsukov A.V. Low-temperature fabrication of SiO x -TiO 2 core-shell nanowires for photocatalytic application Vacuum. 2019. V.165. P.51-57. DOI: 10.1016/j.vacuum.2019.03.059 WOS Scopus OpenAlex
11	Mishchenko I.B. , Petukhova D.E. , Lebedev M.S. Research of Atomic Layer Deposited HfO2/TiO2 Multilayer Structures by Spectroscopic and Multiangle Monochromatic Null Ellipsometry В сборнике 2018 19th International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices (EDM). 2018. – C.26-29. DOI: 10.1109/edm.2018.8434943 OpenAlex

1 / 1 - Всего 11 записей

Фильтр

Название

Год

DOI

Реферат

Ключевые слова

Жанр

Оригинальность

Журнал

Язык

Автор

Open access

Сортировка

Столбцы

Записей на страницу

Сбросить