|
1
|
Косинова М.Л.
, Ермакова Е.Н.
Эволюция кремнийорганических прекурсоров для изготовления low-k диэлектриков
Школа молодых ученых «Актуальные проблемы полупроводниковых наносистем»
29-29 окт. 2025
|
|
2
|
Шаяпов В.Р.
, Ермакова Е.Н.
, Плеханов А.Г.
, Чагин М.Н.
, Дудкина С.П.
, Косинова М.Л.
Применение оптической эмиссионной спектроскопии в исследовании процессов плазмохимического осаждения пленок из паров кремнийорганических соединений
Всероссийская научная конференция с международным участием «V Байкальский материаловедческий форум»
04-10 июл. 2025
|
|
3
|
Ермакова Е.Н.
, Косинова М.Л.
Особенности формирования слоев SiOC:H и SiCN:H из кремнийоргани-ческих прекурсоров в процессах плазмохимического синтеза (PECVD)
XVI Симпозиум с международным участием «Термодинамика и материаловедение – 2025»
30 июн. - 4 июл. 2025
|
|
4
|
Ермакова Е.Н.
, Хижняк Е.А.
, Шаяпов В.Р.
, Косинова М.Л.
Состав и свойства пленок, получаемых методом плазмохимического осаждения из смеси гексаметилдисилана и аммиака
XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024»
16-20 сент. 2024
|
|
5
|
Шаяпов В.Р.
, Чагин М.Н.
, Дудкина С.П.
, Суляева В.С.
, Ермакова Е.Н.
, Косинова М.Л.
Состав и свойства пленок, осаждаемых из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда
XIII Всероссийская конференция с международным участием «Химия твёрдого тела и функциональные материалы – 2024»
16-20 сент. 2024
|
|
6
|
Ермакова Е.Н.
, Чагин М.Н.
, Дудкина С.П.
, Шаяпов В.Р.
Особенности формирования и стабильность пленок SiCN:H, осажденных из паров гексаметилдисилана в процессах PECVD и ICP CVD
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 февр. 2024
|