Sciact
Toggle navigation
  • EN
  • RU

Разделы:

  • Статьи
  • Книги
  • Доклады на конференциях
  • Тезисы докладов
  • Патенты

Тезисы докладов (4)

# Публикация
1 Ермакова Е.Н. , Косинова М.Л.
ВЛИЯНИЕ СТРОЕНИЯ ПРЕКУРСОРА НА СОСТАВ, СТРОЕНИЕ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА PECVD ПЛЕНОК СИСТЕМЫ Si–C–N–O–H
В сборнике ПРОГРАММА И СБОРНИК ТЕЗИСОВ ДОКЛАДОВ "Кузнецовские чтения-2026. Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – ФГБУН Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2026. – ISBN 978-5-90168-857-1.
2 Ермакова Е.Н. , Косинова М.Л.
Особенности формирования слоев SiOC:H и SiCN:H из кремнийоргани-ческих прекурсоров в процессах плазмохимического синтеза (PECVD)
В сборнике Термодинамика и материаловедение: Тезисы докладов XVI Симпозиума с международным участием, Санкт-Петербург, 30 июня – 4 июля 2025. – ФТИ им. А.Ф. Иоффе., 2025. – C.100. – ISBN 978-5-93634-077-2.
3 Шаяпов В.Р. , Чагин М.Н. , Дудкина С.П. , Суляева В.С. , Ермакова Е.Н. , Косинова М.Л.
Состав и свойства пленок, осаждаемых из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда
В сборнике Сборник тезисов XIII Всероссийской конференции с международным участием "Химия твердого тела и функциональные материалы - 2024". 2024. – C.419.
4 Белая С.В. , Максимовский Е.А. , Шаяпов В.Р. , Шаповалова А.А. , Колодин А.Н. , Каичев В.В. , Асанов И.П. , Хомяков М.Н. , Юшина И.В. , Суляева В.С. , Косинова М.Л.
ПЛЕНКИ BCNO:H, ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДАМИ LPCVD И PECVD ИЗ СМЕСИ ПАРА ТРИМЕТИЛАМИНБОРАНА И АЗОТА
В сборнике Программа и сборник тезисов докладов "Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2022. – C.52. – ISBN 978-5-90168-849-6.
1   /  1   -  Всего 4 записей

Фильтр

Сортировка

Поле Направление

Столбцы

Сбросить