Тезисы докладов

#	Публикация
1	Шаяпов В.Р. , Чагин М.Н. , Дудкина С.П. , Суляева В.С. , Ермакова Е.Н. , Косинова М.Л. Состав и свойства пленок, осаждаемых из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда В сборнике Сборник тезисов XIII Всероссийской конференции с международным участием "Химия твердого тела и функциональные материалы - 2024". 2024. – C.419.

1 / 1 - Всего 1 записей

Название

Год

DOI

Реферат

Ключевые слова

Жанр

Оригинальность

Журнал

Язык

Автор

Open access

Записей на страницу

Сбросить