Conference theses - Sciact

Conference theses (4)

#	Публикация
1	Хижняк Е.А. , Лебедев М.С. , Шаяпов В.Р. ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ ОСАЖДЕНИЯ НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ОСАЖДЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ In compilation Программа и тезисы докладов «Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы». – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук., 2024. – C.79. – ISBN 978-5-90168-854-0.
2	Петухова Д.Е. , Лебедев М.С. Получение тонких пленок Sm-Ti-O из реагентов Sm(iPrCp)3, TiCl4 и H2O In compilation IV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия 2023" (АСО-Россия-2023), Махачкала, Россия, 15-18 сентября 2023 г.: сборник тезисов докладов. – Издательство ДГУ., 2023. – C.49-50. – ISBN 9785991302791.
3	Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Лебедев М.С. ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК HfO2, TiO2 И Hf-Ti-O МЕТОДОМ ИНФРАКРАСНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ In compilation Программа и сборник тезисов докладов "Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2022. – C.92. – ISBN 978-5-90168-849-6.
4	Петухова Д.Е. , Лебедев М.С. Исследование тонких пленок SmxTi1-xOy, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения In compilation Программа и сборник тезисов докладов "Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2022. – C.89. – ISBN 978-5-90168-849-6.

1 / 1 - Total 4 records

Filter

field.name

Year

DOI

Abstract

Tags

Genre

Source type

Journal

Language

Author

Open access

Order

Columns

Per page

Reset