Sciact
  • EN
  • RU

ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК HfO2, TiO2 И Hf-Ti-O МЕТОДОМ ИНФРАКРАСНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ Conference Abstracts

Conference Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
11-13 Jul 2022 , Новосибирск, Лаврентьева, 3
Source Программа и сборник тезисов докладов "Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы"
Compilation, Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН. Новосибирск.2022. 103 c. ISBN 978-5-90168-849-6.
Output data Year: 2022, Pages: 92 Pages count : 1
Authors Хижняк Е.А. 1,2 , Шаяпов В.Р. 1,2 , Лебедев М.С. 1
Affiliations
1 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН
2 Новосибирский государственный технический университет
Cite: Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Лебедев М.С.
ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК HfO2, TiO2 И Hf-Ti-O МЕТОДОМ ИНФРАКРАСНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ
In compilation Программа и сборник тезисов докладов "Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2022. – C.92. – ISBN 978-5-90168-849-6.
Identifiers: No identifiers
Citing: Пока нет цитирований