Sciact
  • EN
  • RU

ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ ОСАЖДЕНИЯ НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ОСАЖДЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ Conference Abstracts

Conference Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 Feb 2024 , Новосибирск
Source Программа и тезисы докладов «Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы»
Compilation, Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук. Просп. Акад. Лавреньтьева, 3, Новосибирск, 630090.2024. 86 c. ISBN 978-5-90168-854-0.
Output data Year: 2024, Pages: 79 Pages count : 1
Authors Хижняк Е.А. 1 , Лебедев М.С. 1 , Шаяпов В.Р. 1
Affiliations
1 ИНХ СО РАН, пр. Акад. Лаврентьева, 3, Новосибирск, 630090
Cite: Хижняк Е.А. , Лебедев М.С. , Шаяпов В.Р.
ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ ОСАЖДЕНИЯ НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ОСАЖДЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ
In compilation Программа и тезисы докладов «Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы». – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук., 2024. – C.79. – ISBN 978-5-90168-854-0.
Identifiers: No identifiers
Citing: Пока нет цитирований