Получение тонких пленок Sm-Ti-O из реагентов Sm(iPrCp)3, TiCl4 и H2O Conference Abstracts
| Conference |
IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023” 15-18 Sep 2023 , Махачкала |
||
|---|---|---|---|
| Source | IV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия 2023" (АСО-Россия-2023), Махачкала, Россия, 15-18 сентября 2023 г.: сборник тезисов докладов Compilation, Издательство ДГУ. г. Махачкала, ул. М. Ярагского, 59е.2023. 122 c. ISBN 9785991302791. |
||
| Output data | Year: 2023, Pages: 49-50 Pages count : 2 | ||
| Authors |
|
||
| Affiliations |
|
Abstract:
The Sm(iPrCp)3 and TiCl4, with water vapors as the sole oxygen source, were applied for the SmxTi1-xOy (x=0-1) thin films synthesis using PICOSUN™ R-200 Advanced ALD System. The growth process, chemical composition, and structure of the samples were characterized. The obtained ununiformity of Sm-rich films could be ascribed to CVD-like reactions between the Sm(iPrCp)3 precursor and excess physisorbed H2O on the hygroscopic Sm2O3 surface. According to XPS data, samarium and titanium are in the Sm3+ and Ti4+ valence states. XRD and SEM studies revealed that the films were amorphous for the entire investigated concentration range and had a surface with no pronounced features.
Cite:
Петухова Д.Е.
, Лебедев М.С.
Получение тонких пленок Sm-Ti-O из реагентов Sm(iPrCp)3, TiCl4 и H2O
In compilation IV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия 2023" (АСО-Россия-2023), Махачкала, Россия, 15-18 сентября 2023 г.: сборник тезисов докладов. – Издательство ДГУ., 2023. – C.49-50. – ISBN 9785991302791.
Получение тонких пленок Sm-Ti-O из реагентов Sm(iPrCp)3, TiCl4 и H2O
In compilation IV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия 2023" (АСО-Россия-2023), Махачкала, Россия, 15-18 сентября 2023 г.: сборник тезисов докладов. – Издательство ДГУ., 2023. – C.49-50. – ISBN 9785991302791.
Identifiers:
No identifiers
Citing:
Пока нет цитирований