|
1
|
Викулова Е.С.
, Доровских С.И.
, Савков Б.Ю.
, Волчек В.В.
, Ильин И.Ю.
, Ильдяков А.В.
, Резванов А.А.
, Морозова Н.Б.
Высокочистые металлорганические соединения для осаждения диэлектрических и проводящих слоев
Школа молодых учёных в рамках Российского форума «Микроэлектроника-2026»
21-29 сент. 2026
|
|
2
|
Vikulova Е.S.
, Dorovskikh S.I.
, Ilyin I.Y.
, Savkov B.Y.
, Rikhter E.A.
, Morozova N.B.
Unlocking Material Properties via Precursor Design: How Applications Shape the Chemistry of MOCVD and ALD
V Международная конференция «Атомно-Слоевое Осаждение: Россия-2026»
08-11 сент. 2026
|
|
3
|
Dorovskikh S.I.
, Makarenko A.M.
, Pishchur D.P.
, Zherikova K.V.
, Sysoev S.V.
, Vikulova E.S.
THERMODYNAMIC STUDY OF MIXED LIGAND COBALT Β-DIKETONATE COMPLEXES
AND THEIR IMPLICATIONS FOR Co-OXIDE THIN FILM DEPOSITION
Международная конференция по химической термодинамике в России
29 июн. - 3 июл. 2026
|
|
4
|
Викулова Е.С.
, Доровских С.И.
, Морозова Н.Б.
Современная химия летучих комплексов циркония и гафния для осаждения оксидных наноматериалов
Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
02-04 февр. 2026
|
|
5
|
Доровских С.И.
, Ятыгин В.А.
, Сухих А.С.
, Макаренко А.М.
, Пищур Д.П.
, Сысоев С.В.
, Жерикова К.В.
, Викулова Е.С.
Фторированные разнолигандные комплексы кобальта(II)
для газофазного осаждения фторидных и оксидных наноматериалов
Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
02-04 февр. 2026
|
|
6
|
Доровских С.И.
, Викулова Е.С.
Атомно-слоевое осаждение: от прекурсора к практическому приложению
Школа молодых ученых «Актуальные проблемы полупроводниковых наносистем»
29-29 окт. 2025
|
|
7
|
Доровских С.И.
, Ятыгин В.А.
, Сухих А.С.
, Макаренко А.М.
, Пищур Д.П.
, Жерикова К.В.
, Викулова Е.С.
Термические свойства фторированного комплекса кобальта и его применение для осаждения пленок Со3О4
XVI Симпозиум с международным участием «Термодинамика и материаловедение – 2025»
30 июн. - 4 июл. 2025
|
|
8
|
Basova T.V.
, Klyamer D.D.
, Bonegardt D.V.
, Dorovskikh S.I.
Chemiresistive Gas Sensors based on Metal Phthalocyanines and Their Hybrid Structures with Metal Nanoparticles
2nd Semiconductor Materials & Device Physics Conference
18-24 Apr 2024
|
|
9
|
Морозова Н.Б.
, Викулова Е.С.
, Доровских С.И.
, Сергеевичев Д.С.
, Корецкая Т.П.
Гетероструктуры на основе пленок благородных металлов с наночастицами Ag, Au: получение, исследование биосовместимости и антибактериальной активности
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 февр. 2024
|
|
10
|
Басова Т.В.
, Клямер Д.Д.
, Бонегардт Д.В.
, Морозова Н.Б.
, Доровских С.И.
Фталоцианины металлов и их гибридные материалы с наночастицами металлов в качестве активных слоев газовых сенсоров
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 февр. 2024
|
|
11
|
Крисюк В.В.
, Уркасым кызы С.
, Корольков И.В.
, Максимовский Е.А.
, Доровских С.И.
Химическое осаждение из газовой фазы тонкопленочных катодных материалов для литиевых микробатарей
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 февр. 2024
|
|
12
|
Доровских С.И.
, Кальный Д.Б.
, Морозова Н.Б.
Газофазное формирование гетероструктур на основе пленок фталоцианинов железа и наночастиц платиновых металлов как активных слоев электрохимических сенсоров для детекции оксидов азота
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 февр. 2024
|
|
13
|
Викулова Е.С.
, Доровских С.И.
, Ильин И.Ю.
, Резванов А.А.
, Морозова Н.Б.
Летучие координационные соединения для газофазных процессов металлизации
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 февр. 2024
|
|
14
|
Викулова Е.С.
, Ильин И.Ю.
, Доровских С.И.
, Волчек В.В.
, Петухова Д.Е.
, Ильдяков А.В.
, Лебедев М.С.
, Резванов А.А.
, Морозова Н.Б.
Получение высокочистых металлорганических соединений для осаждения материалов микроэлектроники
IV Международная конференция “Атомно-Слоевое осаждение: Россия - 2023”
15-18 сент. 2023
|
|
15
|
Клямер Д.Д.
, Сухих А.С.
, Бонегардт Д.В.
, Доровских С.И.
ВЛИЯНИЕ МОЛЕКУЛЯРНОГО СТРОЕНИЯ ГАЛОГЕНЗАМЕЩЕННЫХ ФТАЛОЦИАНИНОВ
МЕТАЛЛОВ НА СТРУКТУРНЫЕ ОСОБЕННОСТИ И СЕНСОРНЫЕ СВОЙСТВА ИХ ТОНКИХ
ПЛЕНОК
XX МЕЖДУНАРОДНАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ СТУДЕНТОВ, АСПИРАНТОВ И МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ «ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗВИТИЯ ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ НАУК»
25-28 апр. 2023
|