Sciact
Toggle navigation
  • EN
  • RU

Разделы:

  • Статьи
  • Книги
  • Доклады на конференциях
  • Тезисы докладов
  • Патенты

Статьи (24)

# Публикация
21 Atuchin V.V. , Lebedev M.S. , Korolkov I.V. , Kruchinin V.N. , Maksimovskii E.A. , Trubin S.V.
Composition-sensitive growth kinetics and dispersive optical properties of thin HfxTi1−xO2 (0 ≤ x ≤ 1) films prepared by the ALD method
Journal of Materials Science: Materials in Electronics. 2019. V.30. N1. P.812-823. DOI: 10.1007/s10854-018-0351-z WOS Scopus OpenAlex
22 Mishchenko I.B. , Petukhova D.E. , Lebedev M.S.
Research of Atomic Layer Deposited HfO2/TiO2 Multilayer Structures by Spectroscopic and Multiangle Monochromatic Null Ellipsometry
В сборнике 2018 19th International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices (EDM). 2018. – C.26-29. DOI: 10.1109/edm.2018.8434943 OpenAlex
23 Шаяпов В.Р. , Лебедев М.С.
Исследование клиновидных плёнок оптическими методами. Часть II. Эксперименты
Оптический журнал. 2016. Т.83. №7. С.76-82.
24 Shayapov V.R. , Lebedev M.S.
Optical study of wedge-shaped films. Part II. Experiments
Journal of Optical Technology. 2016. V.83. N7. P.447-451. DOI: 10.1364/JOT.83.000447 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

  • « Назад
  • 1
  • 2
  • Вперед »
2   /  2   -  Всего 24 записей

Фильтр

Сортировка

Поле Направление

Столбцы

Сбросить