Химический состав плазмы и свойства пленок, полученных плазмохимическим осаждением из паров гексаметилдисилазана

Химический состав плазмы и свойства пленок, полученных плазмохимическим осаждением из паров гексаметилдисилазана Научная публикация

Журнал

Химия высоких энергий
ISSN: 0023-1193

Вых. Данные

Год: 2016, Том: 50, Номер: 3, Страницы: 221-226 Страниц : 6 DOI: 10.7868/S002311931603013X

Авторы

Шаяпов Владимир Равильевич ¹ , Румянцев Юрий Михайлович ¹ , Плюснин Павел Евгеньевич ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Изучены взаимосвязи между химическим составом газовой фазы и свойствами пленок SiCxNyHz, полученных методом плазмохимического осаждения из паров гексаметилдисилазана. Состав плазмы изучался методом оптической эмиссионной спектроскопии. Выполнен синхронный термический анализ пленок с масс-спектральной регистрацией выделяемых газов. На основе полученных результатов и литературных данных предложены механизмы формирования пленок в условиях полимеризации в плазме, установлен гетерогенный механизм роста пленок в условиях малой мощности плазмы и высоких температур в реакторе.

Шаяпов В.Р. , Румянцев Ю.М. , Плюснин П.Е.
Химический состав плазмы и свойства пленок, полученных плазмохимическим осаждением из паров гексаметилдисилазана
Химия высоких энергий. 2016. Т.50. №3. С.221-226. DOI: 10.7868/S002311931603013X РИНЦ OpenAlex

Shayapov V.R. , Rumyantsev Y.M. , Plyusnin P.E.
Chemical Composition and Properties of Films Produced from Hexamethyldisilazane by PlasmaEnhanced Chemical Vapor Deposition
High Energy Chemistry. 2016. V.50. N3. P.213-218. DOI: 10.1134/S0018143916030127 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Поступила в редакцию:

10 июн. 2015 г.

РИНЦ:	25922651
OpenAlex:	W2369830189

Пока нет цитирований