Conference theses - Sciact

Conference theses (3)

#	Публикация
1	Хижняк Е.А. , Лебедев М.С. , Шаяпов В.Р. ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ ОСАЖДЕНИЯ НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ОСАЖДЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ In compilation Программа и тезисы докладов «Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы». – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук., 2024. – C.79. – ISBN 978-5-90168-854-0.
2	Шаяпов В.Р. , Чагин М.Н. , Дудкина С.П. , Суляева В.С. , Ермакова Е.Н. , Косинова М.Л. Состав и свойства пленок, осаждаемых из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда In compilation Сборник тезисов XIII Всероссийской конференции с международным участием "Химия твердого тела и функциональные материалы - 2024". 2024. – C.419.
3	Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Лебедев М.С. ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК HfO2, TiO2 И Hf-Ti-O МЕТОДОМ ИНФРАКРАСНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ In compilation Программа и сборник тезисов докладов "Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2022. – C.92. – ISBN 978-5-90168-849-6.

1 / 1 - Total 3 records

Filter

field.name

Year

DOI

Abstract

Tags

Genre

Source type

Journal

Language

Author

Open access

Order

Columns

Per page

Reset