Доклады на конференциях - Sciact

Доклады на конференциях (2)

#	Публикация
1	Шаяпов В.Р. , Ермакова Е.Н. , Плеханов А.Г. , Чагин М.Н. , Дудкина С.П. , Косинова М.Л. Применение оптической эмиссионной спектроскопии в исследовании процессов плазмохимического осаждения пленок из паров кремнийорганических соединений Всероссийская научная конференция с международным участием «V Байкальский материаловедческий форум» 04-10 июл. 2025
2	Плеханов А.Г. , Максимовский Е.А. , Корольков И.В. , Лавров А.Н. Изучение процесса PECVD синтеза пленок SiCxNyFe из смеси ферроцена, гексаметилдисилазана и азота Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024

1 / 1 - Всего 2 записей

Фильтр

Название доклада

Название конференции

Год

Автор

Язык

Сортировка

Столбцы

Записей на страницу

Сбросить