Доклады на конференциях

#	Публикация
1	Плеханов А.Г. , Максимовский Е.А. , Корольков И.В. , Лавров А.Н. Изучение процесса PECVD синтеза пленок SiCxNyFe из смеси ферроцена, гексаметилдисилазана и азота Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024

1 / 1 - Всего 1 записей

Название доклада

Название конференции

Год

Автор

Язык

Записей на страницу

Сбросить