|
81
|
Fainer N.I.
, Plekhanov A.G.
, Golubenko A.N.
, Rumyantsev Y.M.
, Rakhlin V.I.
, Maximovski E.A.
, Shayapov V.R.
PECVD Synthesis of Silicon Carbonitride Layers Using Methyltris(diethylamino)silane as the New Single-Source Precursor
ECS Journal of Solid State Science and Technology. 2015.
Т.4. №1. С.N3153-N3163. DOI: 10.1149/2.0201501jss
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
82
|
Меренков И.С.
, Косинова М.Л.
, Ермакова Е.Н.
, Максимовский Е.А.
, Румянцев Ю.М.
PECVD СИНТЕЗ НАНОСТЕНОК ГЕКСАГОНАЛЬНОГО НИТРИДА БОРА ИЗ СМЕСИ БОРАЗИНА И АММИАКА
Неорганические материалы. 2015.
Т.51. №11. 1183–1189
:1-7. DOI: 10.7868/S0002337X15100115
РИНЦ
OpenAlex
|
|
83
|
Ermakova E.
, Mogilnikov K.
, Rumyantsev Y.
, Kichay V.
, Maximovskii E.
, Semenova O.
, Kosinova M.
Study of Cu diffusion behavior in carbon rich SiCN:H films deposited from trimethylphenylsilane
Thin Solid Films. 2015.
V.588. P.39-43. DOI: 10.1016/j.tsf.2015.04.058
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
84
|
Суляева В.С.
, Максимовский Е.А.
, Косинова М.Л.
, Румянцев Ю.М.
Особенности анализа элементного состава пленок карбонитрида бора методом ЭДС
Физикохимия поверхности и защита материалов. 2014.
Т.50. №2. С.219-224. DOI: 10.7868/s004418561402017x
РИНЦ
OpenAlex
|
|
85
|
Sulyaeva V.S.
, Maksimovskii E.A.
, Kosinova M.L.
, Rumyantsev Y.M.
Analysis Features of Elemental Composition of Boron Carbonitride Films by EDS
Protection of Metals and Physical Chemistry of Surfaces. 2014.
V.50. N2. P.273–277. DOI: 10.1134/S2070205114020178
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
86
|
Файнер Н.И.
, Плеханов А.Г.
, Румянцев Ю.М.
, Максимовский Е.А.
, Шаяпов В.Р.
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть I. Химический и фазовый состав
Физика и химия стекла. 2014.
Т.40. №5. С.749-758.
РИНЦ
|
|
87
|
Fainer N.I.
, Plekhanov A.G.
, Rumyantsev Y.M.
, Maximovskii E.A.
, Shayapov V.R.
Films of Hydrogenated Silicon Oxycarbonitride. Part I. Chemical and Phase Composition
Glass Physics and Chemistry. 2014.
V.40. N5. P.570-577. DOI: 10.1134/S1087659614050034
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
88
|
Баковец В.В.
, Белая С.В.
, Лобзарева М.Н.
, Максимовский Е.А.
КИНЕТИКА ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК ОКСИДА ТЕРБИЯ ИЗ ПАРОВ Tb(dpm)3
Неорганические материалы. 2014.
Т.50. №6. С.625-630. DOI: 10.7868/S0002337X14060013
РИНЦ
OpenAlex
|
|
89
|
Ermakova E.
, Lis A.
, Kosinova M.
, Rumyantsev Y.
, Maximovskii E.
, Rakhlin V.
Bis(trimethylsilyl)Ethylamine: Synthesis, Properties and its use as CVD Precursor
Physics Procedia. 2013.
V.46. P.209-218. DOI: 10.1016/j.phpro.2013.07.069
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
90
|
Shayapov V.R.
, Kosinova M.L.
, Smirnov A.P.
, Maksimovskii E.A.
, Ayupov B.M.
, Rumyantsev Y.M.
Mechanical properties and density of BCxNy films grown by low-pressure chemical vapor deposition from triethylamine borane
Inorganic Materials. 2011.
V.47. P.262-266. DOI: 10.1134/S0020168511030204
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
91
|
Шаяпов В.Р.
, Косинова М.Л.
, Смирнов А.П.
, Максимовский Е.А.
, Аюпов Б.М.
, Румянцев Ю.М.
Механические свойства и плотность пленок BCxNy, синтезированных из триэтиламинборана методом химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении
Неорганические материалы. 2011.
Т.43. №3. С.312-316.
РИНЦ
|
|
92
|
Sulyaeva V.S.
, Kosinova M.L.
, Rumyantsev Y.M.
, Golubenko A.N.
, Fainer N.I.
, Alferova N.I.
, Ayupov B.M.
, Gevko P.N.
, Kesler V.G.
, Kolesov B.A.
, Maksimovskii E.A.
, Myakishev K.G.
, Yushina I.V.
, Kuznetsov F.A.
Properties of BCxNy films grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition from N-trimethylborazine-nitrogen mixtures
Inorganic Materials. 2010.
V.46. N5. P.487-494. DOI: 10.1134/s0020168510050092
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|