Sciact
Toggle navigation
  • EN
  • RU

Разделы:

  • Статьи
  • Книги
  • Доклады на конференциях
  • Тезисы докладов
  • Патенты

Статьи (42)

# Публикация
41 Шаяпов В.Р. , Чагин М.Н. , Колодин А.Н. , Косинова М.Л.
ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК ИЗ СМЕСИ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛЦИКЛОТРИСИЛАЗАНА И АРГОНА В ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННОЙ ПЛАЗМЕ
Физика и химия стекла. 2019. Т.45. №6. С.519-527. DOI: 10.1134/S0132665119060180 РИНЦ OpenAlex
42 Shayapov V.R. , Chagin M.N. , Kolodin A.N. , Kosinova M.L.
Deposition of Films from a Mixture of Hexamethylcyclotrisilazane Vapor and Argon in Inductively Coupled Plasma
Glass Physics and Chemistry. 2019. V.45. N6. P.525-531. DOI: 10.1134/S108765961906018X WOS Scopus OpenAlex
  • « Назад
  • 1
  • 2
  • 3
  • Вперед »
3   /  3   -  Всего 42 записей

Фильтр

Сортировка

Поле Направление

Столбцы

Сбросить