Synthesis of titaniferous films by the method of magnetron sputtering in a discharge with a small anode followed by annealing in nitrogen and air

Synthesis of titaniferous films by the method of magnetron sputtering in a discharge with a small anode followed by annealing in nitrogen and air Научная публикация

Журнал

Thermophysics and Aeromechanics
ISSN: 1531-8699 , E-ISSN: 0869-8643

Вых. Данные

Год: 2025, Том: 32, Номер: 4, Страницы: 937-943 Страниц : 7 DOI: 10.1134/s0869864325040110

Авторы

Zaitsev O.V. ^1,2 , Gareev T.I. ^1,2 , Nerushev O.A. ¹ , Sorokin D.V. ^1,2 , Korol’kov I.V. ³ , Sulyaeva V.S. ³

Организации

1	Kutateladze Institute of Thermophysics SB RAS, Novosibirsk, Russia
2	Novosibirsk State University, Novosibirsk, Russia
3	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry SB RAS, Novosibirsk, Russia

Zaitsev O.V. , Gareev T.I. , Nerushev O.A. , Sorokin D.V. , Korol’kov I.V. , Sulyaeva V.S.
Synthesis of titaniferous films by the method of magnetron sputtering in a discharge with a small anode followed by annealing in nitrogen and air
Thermophysics and Aeromechanics. 2025. V.32. N4. P.937-943. DOI: 10.1134/s0869864325040110 WOS Scopus OpenAlex

Зайцев О.В. , Гареев Т.И. , Нерушев О.А. , Сорокин Д.В. , Корольков И.В. , Суляева В.С.
Синтез титаносодержащих пленок методом магнетронного распыления в разряде с малым анодом при отжиге в азоте и воздухе
Теплофизика и Аэромеханика. 2025. Т.32. №4. С.755-761. DOI: 10.63430/TIA202504011 OpenAlex

Поступила в редакцию:	16 июн. 2025 г.
Опубликована в печати:	14 мая 2026 г.

≡ Web of science:	WOS:001766638800002
≡ Scopus:	2-s2.0-105039148599
≡ OpenAlex:	W7161172116