Sciact
  • EN
  • RU

Синтез титаносодержащих пленок методом магнетронного распыления в разряде с малым анодом при отжиге в азоте и воздухе Научная публикация

Журнал Теплофизика и Аэромеханика
ISSN: 0869-8635
Вых. Данные Год: 2025, Том: 32, Номер: 4, Страницы: 755-761 Страниц : 7 DOI: 10.63430/TIA202504011
Авторы Зайцев О.В. 1,2 , Гареев Т.И. 1,2 , Нерушев О.А. 1 , Сорокин Д.В. 1,2 , Корольков И.В. 3 , Суляева В.С. 3
Организации
1 Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск
2 Новосибирский государственный университет
3 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск
Библиографическая ссылка: Зайцев О.В. , Гареев Т.И. , Нерушев О.А. , Сорокин Д.В. , Корольков И.В. , Суляева В.С.
Синтез титаносодержащих пленок методом магнетронного распыления в разряде с малым анодом при отжиге в азоте и воздухе
Теплофизика и Аэромеханика. 2025. Т.32. №4. С.755-761. DOI: 10.63430/TIA202504011
Даты:
Принята к публикации: 11 июл. 2025 г.
Поступила в редакцию: 24 сент. 2025 г.
Опубликована в печати: 1 окт. 2025 г.
Идентификаторы БД: Нет идентификаторов
Цитирование в БД: Пока нет цитирований
Альметрики: