Синтез титаносодержащих пленок методом магнетронного распыления в разряде с малым анодом при отжиге в азоте и воздухе

Синтез титаносодержащих пленок методом магнетронного распыления в разряде с малым анодом при отжиге в азоте и воздухе Full article

Journal

Теплофизика и Аэромеханика
ISSN: 0869-8635

Output data

Year: 2025, Volume: 32, Number: 4, Pages: 755-761 Pages count : 7 DOI: 10.63430/TIA202504011

Authors

Зайцев О.В. ^1,2 , Гареев Т.И. ^1,2 , Нерушев О.А. ¹ , Сорокин Д.В. ^1,2 , Корольков И.В. ³ , Суляева В.С. ³

Affiliations

1	Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск
2	Новосибирский государственный университет
3	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск

Зайцев О.В. , Гареев Т.И. , Нерушев О.А. , Сорокин Д.В. , Корольков И.В. , Суляева В.С.
Синтез титаносодержащих пленок методом магнетронного распыления в разряде с малым анодом при отжиге в азоте и воздухе
Теплофизика и Аэромеханика. 2025. Т.32. №4. С.755-761. DOI: 10.63430/TIA202504011 OpenAlex

Zaitsev O.V. , Gareev T.I. , Nerushev O.A. , Sorokin D.V. , Korol’kov I.V. , Sulyaeva V.S.
Synthesis of titaniferous films by the method of magnetron sputtering in a discharge with a small anode followed by annealing in nitrogen and air
Thermophysics and Aeromechanics. 2025. V.32. N4. P.937-943. DOI: 10.1134/s0869864325040110 WOS Scopus OpenAlex

Accepted:	Jul 11, 2025
Submitted:	Sep 24, 2025
Published print:	Oct 1, 2025

≡ OpenAlex:

W7115080442