Исследование химического состава пленок BCxNy методами РФЭС и Оже-спектроскопии

Исследование химического состава пленок BCxNy методами РФЭС и Оже-спектроскопии Full article

Journal

Журнал структурной химии
ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463

Output data

Year: 2012, Volume: 53, Number: 4, Pages: 710 – 717 Pages count : 9

Authors

Кеслер В.Г. ¹ , Косинова М.Л. ² , Румянцев Ю.М. ² , Суляева В.С. ²

Affiliations

1	Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, Новосибирск
2	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск

Кеслер В.Г. , Косинова М.Л. , Румянцев Ю.М. , Суляева В.С.
Исследование химического состава пленок BCxNy методами РФЭС и Оже-спектроскопии
Журнал структурной химии. 2012. Т.53. №4. С.710 – 717.

Kesler V.G. , Kosinova M.L. , Rumyantsev Y.M. , Sulyaeva V.S.
X-ray photoelectron and auger spectroscopic study of the chemical composition of BCxNy films
Journal of Structural Chemistry. 2012. V.53. N4. P.699-707. DOI: 10.1134/s0022476612040129 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Submitted:	Dec 12, 2011
Published print:	Aug 1, 2012

No identifiers

Пока нет цитирований