Influence of Precursor Gas Flow Rate on Fluoropolymer Coating Growth Rate During Hot Wire Chemical Vapor Deposition Научная публикация
| Журнал |
Journal of Applied Mechanics and Technical Physics
ISSN: 1573-8620 , E-ISSN: 0021-8944 |
||||
|---|---|---|---|---|---|
| Вых. Данные | Год: 2018, Том: 59, Номер: 5, Страницы: 842-846 Страниц : 5 DOI: 10.1134/S0021894418050103 | ||||
| Авторы |
|
||||
| Организации |
|
Библиографическая ссылка:
Safonov A.I.
, Sulyaeva V.S.
, Bogoslovtseva A.L.
, Timoshenko N.I.
Influence of Precursor Gas Flow Rate on Fluoropolymer Coating Growth Rate During Hot Wire Chemical Vapor Deposition
Journal of Applied Mechanics and Technical Physics. 2018. V.59. N5. P.842-846. DOI: 10.1134/S0021894418050103 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Influence of Precursor Gas Flow Rate on Fluoropolymer Coating Growth Rate During Hot Wire Chemical Vapor Deposition
Journal of Applied Mechanics and Technical Physics. 2018. V.59. N5. P.842-846. DOI: 10.1134/S0021894418050103 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Оригинальная:
Сафонов А.И.
, Суляева В.С.
, Богословцева А.Л.
, Тимошенко Н.И.
Влияние расхода газа-предшественника на скорость роста фторполимерного покрытия при осаждении методом HW CVD
Прикладная механика и техническая физика. 2018. Т.59. №5. С.87-92. DOI: 10.15372/PMTF20180510 РИНЦ
Влияние расхода газа-предшественника на скорость роста фторполимерного покрытия при осаждении методом HW CVD
Прикладная механика и техническая физика. 2018. Т.59. №5. С.87-92. DOI: 10.15372/PMTF20180510 РИНЦ
Даты:
| Поступила в редакцию: | 18 июн. 2018 г. |
| Опубликована online: | 8 нояб. 2018 г. |
Идентификаторы БД:
| Web of science: | WOS:000455182800010 |
| Scopus: | 2-s2.0-85056211878 |
| РИНЦ: | 38631408 |
| OpenAlex: | W4231016340 |