Влияние расхода газа-предшественника на скорость роста фторполимерного покрытия при осаждении методом HW CVD Научная публикация

Журнал	Прикладная механика и техническая физика ISSN: 0869-5032
Вых. Данные	Год: 2018, Том: 59, Номер: 5, Страницы: 87-92 Страниц : 5 DOI: 10.15372/PMTF20180510
Авторы	Сафонов А.И. 1 , Суляева В.С. 2 , Богословцева А.Л. 1 , Тимошенко Н.И. 1
Организации	1 Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия 2 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия