Влияние расхода газа-предшественника на скорость роста фторполимерного покрытия при осаждении методом HW CVD Full article

Journal	Прикладная механика и техническая физика ISSN: 0869-5032
Output data	Year: 2018, Volume: 59, Number: 5, Pages: 87-92 Pages count : 5 DOI: 10.15372/PMTF20180510
Authors	Сафонов А.И. 1 , Суляева В.С. 2 , Богословцева А.Л. 1 , Тимошенко Н.И. 1
Affiliations	1 Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия 2 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия